[发明专利]一种石英舟清洗和饱和处理方法

权利要求书

1.一种石英舟清洗和饱和处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

石英舟的清洗：将石英舟放入浓度为10%～25%的氢氟酸进行浸泡40min～120min后，放入喷淋槽用纯水喷淋，喷淋时间为20min～90min；

清洗后的干燥：用气体干燥剂吹干石英舟； 

石英舟的饱和：将石英舟放入炉温为800℃～900℃的管式扩散炉中，通入氧气和流量为1000～3000ml/min三氯氧磷液态源，其中氧气和三氯氧磷液态源的流量比为1:1～5； 

最后用10～30L/min的氮气或者氧气冷却石英舟。

2.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗和饱和处理方法，其特征在于，其特征在于，所述步骤1）中的氢氟酸的浓度为15%～20%，浸泡时间为60min～90min，喷淋时间为40min～60min。

3.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗和饱和处理方法，其特征在于，其特征在于，所述步骤2）中的气体干燥剂优选为氮气。

4.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗和饱和处理方法，其特征在于，所述的步骤3）中的炉温为830℃～860℃，通入三氯氧磷液态源的流量为1000～3000ml/min，其中氧气和三氯氧磷的流量比为1:3～4。

5.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗和饱和处理方法，其特征在于，所述步骤4）中的冷却气体优选为氮气。