[发明专利]镍酸镧陶瓷靶材的制备技术

权利要求书

1.一种镍酸镧陶瓷靶的制备技术，其特征在于该制备技术的具体步骤如下：

(1)镍酸镧(LNO)粉体的制备

①以La₂O₃、Ni₂O₃氧化物粉末为起始原料，使摩尔比为1∶1，以无水乙醇为介质球磨24h，将物料于80℃恒温干燥箱中干燥；

②将混好的物料在空气或氧气气氛中煅烧，温度为800～950℃，保温6～10h，然后自然降温至室温，得到LNO粉体；

(2)生坯的制备

③将制得的LNO粉体进行单轴压制成型，制成直径为30mm厚为4mm的LNO生坯，压力为10MPa；

(3)靶材的烧结

④将成型的LNO陶瓷在400℃保温1h脱胶，之后在氧气气氛中1000～1200℃烧结4h，得到所需的靶材。

2.根据权利要求1所述的镍酸镧陶瓷靶的制备技术，其特征在于：步骤②中采用氧气气氛替代空气，以5℃/min的速率升温，在500～600℃开始充入O₂，800～950℃保温之后随炉冷却，在500～600℃停止充入O₂。

3.据权利要求1所述的镍酸镧陶瓷靶的制备技术，其特征在于：步骤④中以2℃/min的速率升温，在500～600℃开始充入O₂，1000～1200℃保温之后仍以2℃/min的速率降温，在500～600℃停止充入O₂，300℃以下随炉冷却。