[发明专利]正型光敏树脂组合物、使用其制备的光敏树脂膜、以及包含该光敏树脂膜的半导体器件

权利要求书

1.一种正型光敏树脂组合物，包括

（A）由下列化学式1表示的含磷二胺制备的碱溶性树脂；

（B）光敏重氮醌化合物；和

（C）溶剂：

[化学式1]

其中，在化学式1中，

R'和R″每一个独立地是氢、取代的或未取代的C1至C20的烷基、取代的或未取代的C2至C20的烯基、取代的或未取代的C2至C20的炔基、取代的或未取代的C1至C20的烷氧基、取代的或未取代的C3至C20的环烷基、取代的或未取代的C3至C20的环烯基、取代的或未取代的C3至C20的环炔基、取代的或未取代的C2至C20的杂环烷基、取代的或未取代的C2至C20的杂环烯基、取代的或未取代的C2至C20的杂环炔基、或取代的或未取代的C6至C30的芳基，

R是取代的或未取代的C1至C20的烷基、取代的或未取代的C2至C20的烯基、取代的或未取代的C2至C20的炔基、取代的或未取代的C1至C20的烷氧基、取代的或未取代的C3至C20的环烷基、取代的或未取代的C3至C20的环烯基、取代的或未取代的C3至C20的环炔基、取代的或未取代的C2至C20的杂环烷基、取代的或未取代的C2至C20的杂环烯基、取代的或未取代的C2至C20的杂环炔基、或取代的或未取代的C6至C30的芳基，以及n'和n″是从0到3的整数。

2.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中所述含磷二胺包括选自由下列化学式2和3表示的化合物中的至少一种：

[化学式2]

[化学式3]

3.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中所述碱溶性树脂包括聚苯并噁唑前体，所述聚苯并噁唑前体包括由下列化学式4表示的重复单元：

[化学式4]

其中，在化学式4中，

X¹是由以上化学式1表示的含磷二胺衍生的残基，并且

Y¹是取代的或未取代的C6至C30的芳香族有机基团、取代或未取代的二价至六价的C1至C30的脂肪族有机基团、或取代的或未取代的二价至六价的C3至C30的脂环族有机基团。

4.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中所述碱溶性树脂是由所述含磷二胺和芳香二胺制备的，并且

所述芳香二胺包括选自下列化学式8和9中的至少一种：

[化学式8]

[化学式9]

其中，在化学式8和9中，

A是单键、-O-、-CO-、-CR⁴R⁵-、-SO₂-、或-S-，R⁴和R⁵每一个独立地是氢、或取代的或未取代的C1至C30的烷基，

R¹和R³每一个独立地是氢、取代的或未取代的C1至C30的烷基、取代的或未取代的C1至C30的羧基、羟基或巯基，

n₁是从0到2的整数，并且

n₂和n₃是从0到3的整数。

5.根据权利要求4所述的正型光敏树脂组合物，其中所述含磷二胺和所述芳香二胺以5:95至95:5的重量比混合。