[发明专利]一种磷掺杂石墨光学镜片的制备方法

权利要求书

1.一种磷掺杂石墨光学镜片的制备方法，其特征在于包括下述步骤：

a、采用化学气相沉积法，将带有一洁净石英片的石英舟放入石英管中部，并将石英管放入管式炉中，在氩气惰性气体的保护下加热，使石英管中部的温度升高至反应温度；

b、在容器瓶中加入4-10 mL甲苯并加入44.1-955 mg三苯基磷，振荡，待三苯基磷完全溶解后，在氩气保护下，通过恒流泵将溶解后得到的混合溶液注入石英管内，溶液气化后被氩气带到石英管中部的加热区，碳源甲苯和磷源三苯基磷发生分解，在石英片上开始生成磷掺杂石墨；

c、5-10分钟后停止加热和向石英管内注入混合溶液，并将石英舟从石英管中部拉到管口，在氩气保护下将石英舟冷却到室温，从石英舟中取出洁净石英片样品，得到具有光学和导电性能的磷掺杂石墨光学镜片。

2.根据权利要求1所述的磷掺杂石墨光学镜片的制备方法，其特征在于：所述的三苯基磷在甲苯溶液中的浓度为2.5～10 wt% 。

3.根据权利要求1所述的磷掺杂石墨光学镜片的制备方法，其特征在于：所述的三苯基磷为磷源；甲苯为碳源；氩气为保护气。

4.根据权利要求1所述的磷掺杂石墨光学镜片的制备方法，其特征在于：所述反应温度为900-1200 ℃。

5.根据权利要求1所述的磷掺杂石墨光学镜片的制备方法，其特征在于：所述氩气惰性气体的流速为0.3～0.6 L/min；所述恒流泵的流速为2～3 mL/h；所述氩气的流速为0.1～0.4 L/min。