[发明专利]一种改善良率的硅棒切片用工装

权利要求书

1.一种改善良率的硅棒切片用工装，其特征是：包括用于放置硅棒的底板（1）和与底板（1）相垂直的支撑板（2），所述的底板（1）表面上粘贴有环氧树脂粘贴层（3），所述的支撑板（2）上安装有一对用于夹紧硅棒端部的左夹紧机构和右夹紧机构，左夹紧机构包括固定在支撑板（2）上的左导向杆（41）和套置在左导向杆（41）上的左弹簧（42）以及与左弹簧（42）相连接的左夹板（43），左夹板（43）通过左弹簧（42）在左导向杆（41）上滑动；右夹紧机构包括固定在支撑板（2）上的右导向杆（51）和套置在右导向杆（51）上的右弹簧（52）以及与右弹簧（52）相连接的右夹板（53），右夹板（53）通过右弹簧（52）在右导向杆（51）上滑动。

2.根据权利要求1所述的一种改善良率的硅棒切片用工装，其特征是:所述的左夹板（43）和右夹板（53）的内表面上均粘贴有防滑软胶层（6）。

3.根据权利要求1所述的一种改善良率的硅棒切片用工装，其特征是:所述底板（1）的材质是不锈钢制成。