[发明专利]一种高强度氮化铝陶瓷基板及其制造方法

权利要求书

1.一种高强度氮化铝陶瓷基板，由流延浆料经流延成型和高温烧结而成，其特征在于，所述流延浆料的各组分及其含量为：

氮化铝粉体       95～105重量份

稀土氧化物       4～8重量份

含硅氧化物       0.05～0.5重量份

溶剂             40～45重量份

分散剂           1～3重量份

粘结剂           8～12重量份

增塑剂           3～7重量份。

2.根据权利要求1所述的高强度氮化铝陶瓷基板，其特征在于：所述稀土氧化物为三氧化二钇。

3.根据权利要求1所述的高强度氮化铝陶瓷基板，其特征在于：所述含硅氧化物为气相法白炭黑或沉淀法白炭黑，所述含硅氧化物的粒径为0.01～1μm。

4.根据权利要求1或2或3所述的高强度氮化铝陶瓷基板，其特征在于：所述溶剂为无水乙醇与丁醇按重量百分比为1：2的比例混合的混合物，所述分散剂为鱼油，所述粘结剂为聚乙烯醇缩丁醛，所述增塑剂为邻苯二甲酸二丁酯。

5.一种高强度氮化铝陶瓷基板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）流延浆料的配制：将95～105重量份的氮化铝粉体、4～8重量份的稀土氧化物、0.05～0.5重量份的含硅氧化物、18～21重量份的溶剂、  1～3重量份的溶剂、1～3重量份的分散剂一起球磨混合23.5～24.5h，然后与22～24重量份的溶剂、8～12重量份的粘结剂、3～7重量份的增塑剂一起再混合11.5～12.5h，再经过真空除泡处理4.8～5.2h，得到粘度为18000～22000cps的流延浆料；

（2）流延生坯的制备：将流延浆料经流延成型机，流延得到厚度在0.2～0.8mm之间的流延坯体，将该流延坯体在500～650℃排胶1.8～2.2h，得到氮化铝流延生坯；

（3）陶瓷基板的制备：将氮化铝流延生坯放入高温钨真空电阻炉，在1790～1890℃进行无压烧结，烧结时采用氢气、氮气混合气氛保护。

6.根据权利要求5所述的高强度氮化铝陶瓷基板的制造方法，其特征在于：所述步骤（3）中，氢气、氮气的流量比为1:1～2。