[发明专利]一种晶体预热装置有效
申请号: | 201210322393.9 | 申请日: | 2012-09-03 |
公开(公告)号: | CN102864490A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 袁静;张继宏;李岩 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 预热 装置 | ||
1.一种晶体预热装置,用于对区熔炉内的晶体进行预加热,包括加热单元,其特征在于,还包括驱动装置,所述加热单元与所述驱动装置的连接杆固定连接;
所述驱动装置固定在所述区熔炉的炉膛法兰外侧,且所述连接杆穿过所述炉膛法兰;
所述驱动装置通过所述连接杆驱动所述加热单元。
2.根据权利要求1所述的晶体预热装置,其特征在于,所述驱动装置与所述炉膛法兰间的固定方式为螺栓固定。
3.根据权利要求1所述的晶体预热装置,其特征在于,还包括调整块,所述加热单元通过所述调整块与所述驱动装置的连接杆固定连接。
4.根据权利要求3所述的晶体预热装置,其特征在于,还包括固定环,所述连接杆的自由端通过所述固定环与所述调整块固定连接。
5.根据权利要求3所述的晶体预热装置,其特征在于,所述连接杆的自由端具有凹孔,所述凹孔容纳部分所述调整块。
6.根据权利要求3所述的晶体预热装置,其特征在于,所述调整块的用于连接所述加热单元的一端的端面上具有凹槽和螺孔,所述加热单元的用于连接所述调整块的一端的端面上具有与所述凹槽滑动配合的凸起及与所述螺孔相对的长圆孔;
所述凸起用于使所述加热单元沿所述凹槽滑动;
相对设置的所述螺孔与所述长圆孔用于通过螺钉将所述加热单元与所述调整块固定连接。
7.根据权利要求1所述的晶体预热装置,其特征在于,还包括密封件,位于所述炉膛法兰与所述连接杆之间。
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