[发明专利]一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法

权利要求书

1.一种防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，其特征是：还包括控制系统，所述的控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，所述的控制系统设有临界压力P_q和防爆压力P_fb，所述的控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。

2.如权利要求1所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的油扩散泵系统还具有对油扩散泵前级抽气的前级泵组和维持油扩散泵腔内真空度的维持泵组，前级泵组通过管路与油扩散泵的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，维持泵组通过管路与油扩散泵的前级排气口连通。

3.如权利要求2所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的前级泵组与油扩散泵的前级排气口之间的管路上设有前级阀，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀，所述的维持泵组与油扩散泵的前级排气口之间的管路上设有维持阀；所述的前级泵组具有串联设置的第一前级泵和第二前级泵，所述的第一、第二前级泵之间管路上设有选择阀。

4.如权利要求1所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的油扩散泵系统具有并联设置的第一油扩散泵和第二油扩散泵，第一、第二油扩散泵的抽气口分别与真空室的出气口连通，第一油扩散泵与真空室的管路上设有第一主阀，第一油扩散泵的前级排气口管路上设有第一压力检测装置，第二油扩散泵与真空室的管路上设有第二主阀，第二油扩散泵的前级排气口管路上设有第二压力检测装置。

5.如权利要求4所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的油扩散泵系统还具有前级泵组和维持泵组，前级泵组通过管路与第一、第二油扩散泵的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，前级泵组与与第一、第二油扩散泵的前级排气口之间的管路上分别设有第一前级阀和第二前级阀，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀，所述的维持泵组通过管路与第一、第二油扩散泵的前级排气口连通，维持泵组与第一、第二油扩散泵的前级排气口的管路上分别设有第一维持阀和第二维持阀；所述的前级泵组包括一台主前级泵和两台副前级泵，所述的两台副前级泵通过管路并联设置在主前级泵出气端，两台副前级泵与主前级泵之间的管路上分别设有第一选择阀和第二选择阀。

6.如权利要求1所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的真空室的壳体上设有大气进口，大气进口上设有大气阀，真空室上的测压装置包括电离真空计和电阻真空计。

7.如权利要求1所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的控制系统还具有报警器，所述的报警器为声光报警器。