[发明专利]一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口无效
申请号: | 201210325664.6 | 申请日: | 2012-09-06 |
公开(公告)号: | CN102789009A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 何少伟;陈鹏杰;王明星;胡庆;徐向东;李伟 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G02B1/11 | 分类号: | G02B1/11 |
代理公司: | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 徐丰;杨保刚 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 双面 反射 结构 红外 光学 窗口 | ||
1. 一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口,包括红外光学窗口,其特征在于:所述红外光学窗口的入射面和出射面均刻蚀有抗反射结构。
2. 根据权利要求1所述的一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口,其特征在于:所述的红外光学窗口为硅、锗、硫化锌或硒化锌制成的红外光学窗口。
3. 根据权利要求1所述的一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口,其特征在于:所述的抗反射结构为凸起或凹陷结构。
4. 根据权利要求3所述的一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口,其特征在于:当抗反射结构为凸起结构时,为圆柱、圆锥、圆台或棱柱中的一种;当抗反射结构为凹陷结构时,为圆柱形凹槽、圆锥形凹槽、圆台形凹槽或棱柱形凹槽中的一种。
5. 根据权利要求1~4任一项所述的一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口,其特征在于:所述红外光学窗口为硅片,所述入射面的抗反射结构为呈二维矩阵排列的正四方柱,出射面的抗反射结构为呈二维矩阵排列的正四方柱凹槽。
6. 根据权利要求5所述的一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口,其特征在于:所述正四方柱的高度为1~2um,边长为1.2~3.2um,排列周期为2~4um。
7. 根据权利要求6所述的一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口,其特征在于:正四方柱高度为1.4um,边长为1.5um,排列周期为2.5um。
8. 根据权利要求5所述的一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口,其特征在于:所述正四方柱凹槽的深度为1~2um,边长为1.5~2.5um,排列周期为2~3um。
9. 根据权利要求7或8所述的一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口,其特征在于:正四方柱凹槽深度为1.4um,边长为2um,排列周期为2.5um。
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