[发明专利]一种用于单晶硅制绒液的添加剂有效
申请号: | 201210328228.4 | 申请日: | 2012-09-07 |
公开(公告)号: | CN102787361A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 石晶;吴小锋;李杰;刘保锋;赵明;闫云;王晓利 | 申请(专利权)人: | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C23F1/32 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 杨志兵;付雷杰 |
地址: | 056027*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶硅 制绒液 添加剂 | ||
1.一种用于单晶硅制绒液的添加剂,其特征在于:以所述添加剂总体质量为100%计,其中各组分及其质量百分数如下:
果糖 0.1%~10%,
硅酸钠 1%~10%,
有机酸盐 0.1%~10%,
表面活性剂 0.1%~5%,
其余为达到去离子水或去离子水纯度以上的水;
其中,所述有机酸盐为乙酸盐、草酸盐、异烟酸盐、酒石酸盐和乳酸盐中的一种或一种以上;
表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐、壬基酚聚氧乙烯醚和含氟非离子表面活性剂中的一种或一种以上。
2.一种如权利要求1所述的用于单晶硅制绒液的添加剂的制备方法,其特征在于:步骤如下:
常温下,将果糖、硅酸钠、有机酸盐和表面活性剂按比例加入烧杯中,加入水搅拌至完全溶解,即得到一种用于单晶硅制绒液的添加剂。
3.一种如权利要求1所述的用于单晶硅制绒液的添加剂的使用方法,其特征在于:将所述的添加剂加入碱性制绒液中,将清洗过的硅片浸入含有添加剂的碱性制绒液中,于65~90℃恒温12~20分钟,即完成制绒;其中添加剂占碱性制绒液质量的0.3%~2%。
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