[发明专利]一种用于硅铸锭炉的固液界面测定装置

权利要求书

1.一种用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，包括：

用于与硅铸锭炉中的固态多晶硅接触的石英棒；

第一活塞杆处于伸出状态的气缸，所述第一活塞杆与所述石英棒连接；

用于驱动所述气缸从而带动所述石英棒上下直线运动的驱动装置；

安装于所述气缸的第一活塞杆与所述石英棒之间，用于感应所述石英棒与所述固态多晶硅接触所产生的作用力的压力传感器；

分别与所述驱动装置和所述压力传感器电连接，用于接收所述压力传感器所采集的信号，并根据接收到的所述压力传感器的信号控制所述驱动装置带动所述石英棒上升或下降的PLC。

2.根据权利要求1所述的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，所述驱动装置为丝杠螺母机构，所述丝杠螺母机构包括步进电机、丝杠和螺母，所述步进电机与所述丝杠连接用于带动所述丝杠转动，所述螺母套设在丝杠上并在所述步进电机驱动所述丝杠转动的同时沿所述丝杠上下移动。

3.根据权利要求2所述的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，所述螺母上固定连接有运动底板，所述气缸的缸体固定在所述运动底板上，并随所述运动底板上下直线运动，所述第一活塞杆的一端连接有连接臂，所述石英棒的上端安装在所述连接臂上。

4.根据权利要求3所述的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，所述运动底板的上端向远离所述驱动装置的一侧延伸出水平的安装板，所述气缸的缸体固定在所述安装板上，所述气缸的第一活塞杆穿过所述安装板；

所述运动底板远离所述驱动装置的一侧设置有导向板，所述导向板上开设有垂直的导向槽，所述气缸的第一活塞杆上设置有与所述导向槽相适配的导向块，所述导向块嵌在所述导向槽内并沿所述导向槽上下直线运动。

5.根据权利要求3所述的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，所述连接臂上开设有贯通所述连接臂上、下表面的贯通孔，所述石英棒通过连接件与所述连接臂连接，所述连接件包括穿设于所述贯通孔内的圆柱状杆体、设置在所述杆体上端的第一卡件和设置在所述杆体上的第二卡件，所述第一卡件卡挡在所述连接臂上表面，所述第二卡件卡挡在所述连接臂的下表面，所述贯通孔的孔径大于所述杆体的直径。

6.根据权利要求5所述的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，所述第一卡件与所述杆体一体成型，所述第二卡件在所述杆体贯穿于所述贯通孔内后焊接于所述杆体。

7.根据权利要求5所述的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，所述第一卡件与所述杆体一体成型，所述杆体上开设有外螺纹，所述第二卡件为与所述杆体相适配的螺母。

8.根据权利要求5所述的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，所述连接件采用橡胶材料制成。

9.根据权利要求6或7所述的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，所述连接件采用金属材料制成。

10.根据权利要求1所述的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置，其特征在于，所述气缸的活塞的一侧连接有所述第一活塞杆，另一侧连接有第二活塞杆，所述第二活塞杆上或者所述缸体上设置有位置传感器。