[发明专利]一种掩模组件的组装方法

权利要求书

1.一种掩模组件的组装方法，其特征在于,包括：

S1：掩模框架对位安装：将所述掩模框架置于组装平台上，使得所述掩模框架的内框与强化杆通过对位支撑机构对位正确放置；

S2：掩模部绷网固定：通过绷网装置将所述掩模部绷紧且使掩模部紧贴所述掩模框架的掩模固定面，将绷紧的所述掩模部固定到所述掩模框架的内框上；

S3：掩模板张力微调：通过调节连接机构，进一步微调固定后的掩膜组件，使得所述掩模部表面平整度更好，图案位置精度更加准确。

2.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法，其特征在于，步骤S1中，S11：

掩模框架水平放置于组装平台上，将连接机构调节至松弛状态，调整对位支撑机构位置，使所述对位支撑机构之间处于对位紧贴状态，此时，所述内框和强化杆之间存有间距。

3.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法，其特征在于，步骤S2中，所述掩模部是单块掩模板或是多块掩模单元拼接而成。

4.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法，其特征在于，步骤S2中，采用两端绷网方式或多边绷网方式绷拉掩模部。

5.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法，其特征在于，步骤S2中，所述掩模部固定前需要通过定位机构定位，使得所述掩模部相对所述掩模框架具有精确地定位。

6.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法，其特征在于，步骤S2中，可以是

S21：所述掩模部是单块掩模板，则只需一次绷网过程；

或者是

S22：所述掩模部由多块掩模单元拼接而成，则需要包含多次绷网固定过程，直至所有所述掩模单元绷网固定完成。

7.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法，其特征在于，步骤S2中，所述固定方式是激光焊接固定方式或者是胶水粘接等其它方式。

8.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法，其特征在于，步骤S3中，所述连接机构包括螺丝，通过配合转动调节螺丝，使得在掩模部绷拉下变形的内框一组对边211在一定程度上恢复形变前的状态，从而相应减少掩模部的下垂量，在调节螺丝时，需要时时监测掩模部上图案的位置精度、开口尺寸等影响最终使用效果的掩膜组件参数。

9.根据权利要求7所述的掩模组件的组装方法，其特征在于，步骤S3中，所述螺丝为密纹螺丝。

10.根据权利要求7所述的掩模组件的组装方法，其特征在于，步骤S3中，可以是：

掩模部为单个掩模板时，所述连接机构通过次序调节螺丝方式，对掩模板进行张力调节；

或者是：

掩模部为多个拼接掩模单元时，所述连接机构可以采用先中间调节，再在中轴线的一侧特定位置调节，再到以中轴线为镜像的另一侧对应位置进行调节，如此依次进行调节。