[发明专利]一种SOI基巨压阻效应微陀螺

权利要求书

1.一种微机械陀螺，其特征在于，包括：

键合基板，所述的键合基板上表面设有矩形凹槽即底槽；

微陀螺角速率敏感体，所述的微陀螺角速率敏感体设在键合基板上方，并与键合基板粘结牢固，且微陀螺角速率敏感体包括：键合基板左、右侧上表面分布的固定梳齿电极正极；前、后侧上表面分布的梳齿电极负极；固定梳齿电极正极上表面设置的固定梳齿结构；梳齿电极负极上表面设置的固定座；对应设在底槽上方的敏感质量块，敏感质量块上均匀分布有通孔阻尼孔；敏感质量块通过组合梁与固定座相连接；组合梁的检测梁根部设有硅纳米线电阻作为敏感机构。

2.根据权利要求1所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的键合基板整体为矩形结构，可为微陀螺角速率敏感体仪的敏感质量块的上下、左右运动提供空间。

3.根据权利要求1所述的微机械陀螺，其特征在于，固定梳齿电极正极，所述的固定梳齿电极正极为两个，分别置于键合基板左、右边框的上表面并粘结牢固，并且该固定梳齿电极正极上表面设固定梳齿，并粘结牢固；

梳齿电极负极，所述的梳齿电极负极为敏感质量块左、右两侧驱动梳齿的电极，该电极与固定梳齿电极正极在同一平面，置于键合基板前、后边框上表面，并粘结牢固，并且该电极的上表面设固定座，并粘结牢固；

敏感质量块，所述的敏感质量块表面均布通孔阻尼孔，敏感质量块左、右两侧边缘均匀分布有驱动梳齿，敏感质量块通过组合梁与固定座相连接； 

组合梁，所述的组合梁由驱动梁、检测梁、连接块构成，用于连接固定座和敏感质量块。

4.根据权利要求3所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的固定梳齿电极正极上设有所述固定梳齿的基座；所述的梳齿电极负极上设有所述的固定座，固定座有前、后两个，分别置于两个梳齿电极负极上表面，并通过组合梁与敏感质量块相连接；固定座与组合梁相连接部位的上表面设有硅纳米线电阻电极。

5.根据权利要求3所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的敏感质量块为矩形，且内嵌在键合基板的底槽中，并可在此底槽中上、下、前、后、左右运动；所述的敏感质量块前、后对称位置分别通过组合梁与固定座相连接。

6.根据权利要求3所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的组合梁呈回折形，驱动梁和检测梁通过连接块相连接，连接块两端为“几”字形驱动梁，连接块中间位置设检测梁；组合梁中驱动梁的厚度与敏感质量块的厚度相同，检测梁的厚度小于两侧驱动梁，在检测梁靠近固定座一端的根部上表面设有硅纳米线电阻。

7.根据权利要求3所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的固定梳齿与所述敏感质量块两侧边缘的驱动梳齿交叉吻合。

8.根据权利要求5所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的敏感质量块的四角对称位置加工有组合梁运动空间，组合梁分别嵌于组合梁运动空间内，组合梁可在组合梁运动空间内上下、左右、前后运动。

9.根据权利要求6所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的检测梁的硅衬底层上制作有二氧化硅层，二氧化硅层上制作有硅纳米线电阻层，硅纳米线电阻层的两端分别连接有硅纳米线电阻正极、硅纳米线电阻负极。

10.根据权利要求9所述的微机械陀螺，其特征在于，所述硅纳米线电阻层采用SOI材料制成。