[发明专利]一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台有效
| 申请号： | 201210331302.8 | 申请日： | 2012-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN103000231A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 谭大川;翟嘉;吴永前;张灿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G12B9/08 | 分类号： | G12B9/08 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 弯矩 高精度 工作台 | ||
1.一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台，其特征在于包括：压电陶瓷驱动器螺钉(1)、压电陶瓷驱动器端盖(2)、压电陶瓷驱动器端盖螺钉(3)、压电陶瓷驱动器(4)、圆筒(5)、圆形片工作台(6)、弹性顶紧机构端盖(7)、弹性顶紧机构端盖螺钉(8)、弹性顶紧机构顶丝(9)及弹性顶紧机构(10)；
其中，在圆形片工作台(6)的一侧设有3支压电陶瓷驱动器(4)，压电陶瓷驱动器(4)为圆周均布，压电陶瓷驱动器(4)的工作端与圆形片工作台(6)紧密接触；压电陶瓷驱动器(4)的固定端通过压电陶瓷驱动器螺钉(1)与压电陶瓷驱动器端盖(2)紧密固定；圆形片工作台(6)的另一侧，与压电陶瓷驱动器(4)相对应的位置设有3支弹性顶紧机构(10)，每支弹性顶紧机构(10)通过弹性顶紧机构顶丝(9)定位在弹性顶紧机构端盖(7)上；压电陶瓷驱动器端盖(2)和弹性顶紧机构端盖(7)分别通过压电陶瓷驱动器端盖螺钉(3)和弹性顶紧机构端盖螺钉(8)与外筒(5)紧密固定；圆形片工作台(6)与圆筒(5)相接触面为球面，圆形片工作台(6)与圆筒(5)为微间隙配合。
2.根据权利要求1所述的Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台，其特征在于：所述圆形片工作台(6)与圆筒(5)相接触面为球面，且球面直径略小于圆筒(5)内径。
3.根据权利要求1所述的Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台，其特征在于：所述弹性顶紧机构(10)为弹簧机构、柔性铰链机构或弹性片机构。
4.根据权利要求1所述的Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台，其特征在于：为了提高所述Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台的精度，Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度还包括一个计算机，所述的计算机用于输出电压信号给3支压电陶瓷驱动器(4)，并控制压电陶瓷驱动器(4)的伸长量。
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