[发明专利]一种真空镀膜机坩埚机构模块化配置系统无效
申请号: | 201210331563.X | 申请日: | 2012-09-10 |
公开(公告)号: | CN102925865A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 吴同喜;仲梁维;李晟昊;戴秀海;宫健 | 申请(专利权)人: | 光驰科技(上海)有限公司;上海理工大学 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;G06F17/50 |
代理公司: | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人: | 徐小蓉 |
地址: | 200444 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 坩埚 机构 模块化 配置 系统 | ||
技术领域
本发明涉及真空镀膜机制造领域,具体涉及一种真空镀膜机坩埚机构模块化配置系统。
背景技术
目前,传统的镀膜机坩埚机构采用的手工设计方法,CAD只是起到辅助绘图的作用,同时新的设计人员对坩埚机构的设计知识掌握不足,设计效率很低,使镀膜机产品的生产制造周期大大延长,同时也增加了人为错误的概率。
发明内容
本发明的目的是根据上述现有技术的不足之处,提供一种真空镀膜机坩埚机构模块化配置系统,该系统通过将建立坩埚机构的零、配件数据库、模块模型库、案例数据库,并根据客户在订单中的不同配置,从系统界面上确定参数,通过案例推理机制从零件库中选择、组合与模块重组,设计不同配置的坩埚机构,从而满足客户的个性化定制的需求。
本发明的实现由以下技术方案完成:
一种真空镀膜机坩埚机构模块化配置系统,其特征在于,所述配置系统包括:镀膜机坩埚机构的组成零、配件数据库,该数据库包含所述各零、配件的结构尺寸以及零、配件之间的装配关系; 模块模型库,该模型库中将所述镀膜机坩埚机构分成若干模块,且每一模块具备多型号、多系列; 案例数据库,该数据库包含已经配置好的多型号、多系列的所述镀膜机坩埚机。
所述镀膜机坩埚机构的组成零、配件数据库是将由行与列组成的坩埚机构事物特性表通过SQL数据库记录保存,所述坩埚机构事物特性表中记录保存有坩埚机构的技术参数,该技术参数为所述镀膜机坩埚机构中的零件或装配体的各零、配件的结构尺寸以及零、配件之间的装配关系。
所述案例数据库的实现是将多型号和多系列的、既有的镀膜机坩埚机构中出现过的模块及模块之间约束规则在EXCEL文件中表达出来后,将该文件通过SQL软件自带接口导入到数据库中,由程序实现将案例显示到界面中,供客户进行坩埚机构的配置。
所述模块模型库的实现是根据所述案例数据库中出现过的坩埚机构的模块,通过软件建立三维模型,建立的零件和装配体的命名规则,需要同建立事物特性表时采用的线分类编码体系规则相对应,以方便模块重组时的调用。
所述配置系统中的所述镀膜机坩埚机构由坩埚、回转轴部、回转轴驱动部和电子枪及电子枪冷却水部四个模块构成。
四个所述模块之间配合部位的机构形状和尺寸具有相同的安装基面和相同的安装尺寸。
本发明的优点是:本发明实现了从客户配置要求到镀膜机坩埚机构快速化自动化模块化设计,产品设计效率大大提高,避免了人工设计过程中产生的错误和设计人员经验缺乏的难题,并降低设计成本,使企业大大提高了快速响应市场的能力。
附图说明
图1是本发明中坩埚机构的模块划分示意图;
图2是本发明的配置流程图;
图3是本发明中坩埚机构选型示意图;
图4是本发明中零、配件数据库示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本发明特征及其它相关特征作进一步详细说明,以便于同行业技术人员的理解:
如图1-4所示,图中标记1-4分别为:坩埚1、回转轴部2、回转轴驱动部3、电子枪4。
实施例:本实施例所采用的配置系统由模块模型库(含零件),案例数据库,模块与模块之间的装配关系(即零、配件数据库)、接口类型数据库,程序界面、程序代码组成。
如图1所示,本实施例中的模块模型库将坩埚机构分为坩埚1、回转轴部2、回转轴驱动部3、电子枪4。上述四个部件分别作为模块模型库的独立单元模块,其中单个独立单元模块内含有若干参数不同的同种部件,如坩埚1的模块模型库内含有若干参数不同的坩埚。模块模型库的实现是根据所述案例数据库中出现过的坩埚机构的模块,通过软件建立三维模型,建立的零件和装配体的命名规则,需要同建立事物特性表时采用的线分类编码体系规则相对应,以方便模块重组时的调用。
如图4所示,本实施例中的零、配件数据库中记录有坩埚1的种类、主参数、坩埚深度及对应的型号、回转轴部2、回转轴驱动部3的回转轴驱动方式及对应的型号、电子枪4角度及对应的型号。此处额外需要阐明的是:上述零、配件数据库中的数据是相互匹配的,即可以根据所需坩埚的参数得到该坩埚的型号,然后通过该坩埚的型号自动匹配出相对应的回转轴驱动方式。
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