[发明专利]抛光工件表面轮廓各频段误差的分离方法无效
| 申请号： | 201210331573.3 | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102853780A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 毕果;郭隐彪;杨峰;韩伟 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 35200 | 代理人： | 马应森;刘勇 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 工件 表面 轮廓 频段 误差 分离 方法 | ||
【权利要求书】：
1.抛光工件表面轮廓各频段误差的分离方法，其特征在于包括以下步骤：
1)采用光学检测装置得到被测光学元件表面的检测曲线，对检测曲线进行拟合，得到拟合曲线和残差；
2)将残差进行经验模态分解得到各阶固有模态函数和剩余信号；
3)计算各阶固有模态函数的瞬时频率曲线及其平均波长；
4)根据各阶固有模态函数的平均波长及其特征将所有固有模态函数分为高、中、低频组，将高频和中频组进行组内叠加得到光学表面轮廓的高频和中频误差；将低频组、剩余信号及拟合曲线叠加得到包含低频误差的面形。
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