[发明专利]一种真空镀膜机模块化配置系统

权利要求书

1.一种真空镀膜机模块化配置系统，其特征在于：所述配置系统包括：真空镀膜机的组成零、配件数据库，该数据库包含所述各零、配件的结构尺寸以及零、配件之间的装配关系； 模块模型库，该模型库中将所述真空镀膜机分成若干模块，且每一模块具备多型号、多系列； 案例数据库，该数据库包含已经配置好的多型号、多系列的所述真空镀膜机。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机模块化配置系统，其特征在于：所述真空镀膜机的组成零、配件数据库是将由行与列组成的真空镀膜机事物特性表通过SQL数据库记录保存，所述真空镀膜机事物特性表中记录保存有真空镀膜机的技术参数，该技术参数为所述真空镀膜机中的零件或装配体的各零、配件的结构尺寸以及零、配件之间的装配关系。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机模块化配置系统，其特征在于：所述案例数据库的实现是将多型号和多系列的、既有的真空镀膜机中出现过的模块及模块之间约束规则在EXCEL文件中表达出来后，将该文件通过SQL软件自带接口导入到数据库中，由程序实现将案例显示到界面中，供客户进行真空镀膜机的配置。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机模块化配置系统，其特征在于：所述模块模型库的实现是根据所述案例数据库中出现过的真空镀膜机的模块，通过软件建立三维模型，建立的零件和装配体的命名规则，需要同建立事物特性表时采用的线分类编码体系规则相对应，以方便模块重组时的调用。

5.根据权利要求1、3或 4所述的一种真空镀膜机模块化配置系统，其特征在于：所述配置系统中的所述真空镀膜机由高真空泵、粗抽泵、制冷系统、基板回转机构、电子枪、左坩埚、右坩埚、离子源、光学膜厚计、膜厚计型号、水晶膜厚计、补正板机构（左），补正板机构（右）、真空计十四个模块组成。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机模块化配置系统，其特征在于：所述十四个模块之间配合部位的机构形状和尺寸具有相同的安装基面和相同的安装尺寸。