[发明专利]一种层间图形对准精度的检测方法

权利要求书

1.一种层间图形对准精度的检测方法，其特征在于，所述的检测的方法按如下步骤操作：

（1）制作基板：在黄光的环境下制备层间图形对准精度检测中使用的基板：使用压膜机将上层感光薄膜（200）压制在透明的塑料薄片（100）的一侧；与此同时，将下层感光薄膜（300）压制在透明的塑料薄片（100）的另一侧，得到基板；随后将基板放置于激光直写曝光机的曝光工作区域；

（2）制作检测图形单元：在黄光的环境下，对所述基板进行二次曝光，制作检测用的检测图形单元，每一个检测图形单元均包括一个方框（201）和一个正方形（301），具体的制作工艺为：

（a）在黄光的环境下，将基板的上层感光薄膜（200）面与激光直写曝光机的光源方向相对应，对上层感光薄膜（200）进行曝光，曝光光源为紫外光，曝光的时间在10s至120s之间，上层感光薄膜（200）上被紫外光曝光的区域发生颜色变化，曝光出的图形为方框（201），该方框（201）的内侧边长为D1，外侧边长为D2，方框（201）的内侧边长D1小于方框（201）的外侧边长D2；

（b）在黄光的环境下，将所述基板拆下来反装，使得基板的下层感光薄膜（300）面与激光直写曝光机的光源方向相对应，待激光直写曝光机配备的自动对准系统将准备在下层感光薄膜（300）上曝光的图形与已在上层感光薄膜（200）曝光出的图形对准完毕后，对下层感光薄膜（300）进行曝光，曝光光源为紫外光，曝光的时间在10s至120s之间，下层感光薄膜（300）上被紫外光曝光的区域发生颜色变化，曝光出的图形为正方形（301），该正方形（301）的边长为D3，正方形（301）的边长D3小于方框（201）的内侧边长D1；所述正方形（301）的四条边与包围所述正方形（301）的方框（201）内侧相对应的四条边之间相互平行；

所述的检测图形单元呈阵列排列，检测图形单元横向排列的数量不少于2排，纵向排列的数量不少于2列；

（3）测算x向、y向的距离差：将曝光后的基板放置在黄光环境下静置5至30分钟，用显微镜对曝光图像进行检测分析和距离差的换算，具体为：随机抽取n个检测图形单元，n的范围在4到100之间；分别测量每个检测图形单元内：正方形（301）左侧的边长与对应的方框（201）左侧的内框边长的横向距离x_n1，正方形（301）右侧的边长与对应的方框（201）右侧的内框边长的横向距离x_n2，正方形（301）上侧的边长与对应的方框（201）上侧的内框边长的纵向距离y_n1，正方形（301）下侧的边长与对应的方框（201）下侧的内框边长的横向距离y_n2；依照上述测量的结果，换算出横向对准平均偏差值Δx和纵向对准平均偏差值Δy；

（4）清洗基板：完成设备的调整后，将激光直写曝光机内的基板取下，放入质量比为3%的氢氧化钠溶液中浸泡，将基板上的上层感光薄膜（200）和下层感光薄膜（300）一同洗去，留下塑料薄片（100）待用；

（5）若测算出来的横向对准平均偏差值Δx小于M且测算出来的纵向对准平均偏差值Δy小于N，则此时的层间图形对准精度符合生产的要求，不需要调整曝光机上的工艺参数，直接按此条件开始PCB板上电路的印刷生产；若测算出来的横向对准平均偏差值Δx不小于M，则调整激光直写曝光机的x向的参数值；若测算出来的纵向对准平均偏差值Δy不小于N，则调整激光直写曝光机的y向的参数值；只要调整激光直写曝光机的x向或y向的参数值，就需要重复步骤（1）至步骤（4），直至横向对准平均偏差值Δx小于M且纵向对准平均偏差值Δy小于N，才可锁定激光直写曝光机的工艺参数并按此条件开始PCB板上电路的生产。

2.如权利要求1所述的一种层间图形对准精度的检测方法，其特征在于，所述的D1值在2000μm至5000μm之间，所述的D2值在3000μm至6000μm之间，所述的D3值在1000μm至3000μm之间。

3.如权利要求1所述的一种层间图形对准精度的检测方法，其特征在于，所述的塑料薄片（100）的厚度在50um至2000μm之间。

4.如权利要求1所述的一种层间图形对准精度的检测方法，其特征在于，所述的基片的制备工艺条件为压膜温度80至140℃，压力0.5至5.0kg/cm²，压膜速度0.5至4.0m/min。

5.如权利要求1所述的一种层间图形对准精度的检测方法，其特征在于，横向对准平均偏差值M的范围为10μm至500μm；纵向对准平均偏差值N的范围为10μm至500μm。