[发明专利]一种纳米水基清洗剂及其制备方法无效
申请号: | 201210333173.6 | 申请日: | 2012-09-11 |
公开(公告)号: | CN102816660A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 徐安莲;周新华;邓小安;黄云波 | 申请(专利权)人: | 广东普赛特电子科技股份有限公司;东莞市松山湖微电子材料研发中心 |
主分类号: | C11D10/02 | 分类号: | C11D10/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523808 广东省东莞市松*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 水基清 洗剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种纳米水基清洗剂,其所含成分重量百分比(%)为:
皂化剂 2.0~18.0%
表面活性剂 5.0~30.0%
缓蚀剂 0.05~0.5%
纳米消泡剂 0.05~0.5%
水溶性纳米二氧化硅 0.2~1.0%
其余为去离子水,各成分重量之和为100%。
2.根据权利要求1所述的纳米水基清洗剂,其特征在于:所述的皂化剂为碳酸钠、碳酸氢钠、氢氧化钠、三聚磷酸钠、磷酸氢二钠、五水偏硅酸钠中的一种或几种。
3. 根据权利要求1所述的纳米水基清洗剂,其特征在于:所述的表面活性剂为聚乙二醇400、聚乙二醇600、辛基酚聚氧乙烯醚、乙氧基类氟碳表面活性剂、聚氧乙烯醚磷酸酯、十二烷基磺酸钠、十二烷基醚硫酸钠、单硬脂酸甘油酯中的一种或多种。
4. 根据权利要求1所述的纳米水基清洗剂,其特征在于:所述的缓蚀剂为2-甲基咪唑、咪唑、三乙醇胺、巯基苯骈噻唑中的一种或几种。
5. 根据权利要求1所述的纳米水基清洗剂,其特征在于:所述的纳米消泡剂为纳米硅醚消泡剂、纳米增效聚醚有机硅消泡剂中的一种或几种。
6. 根据权利要求1所述的纳米水基清洗剂的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)称取去离子水,倒入反应釜中;(2)加入2~18%的皂化剂,搅拌至完全溶解;(3)再依次加入5.0~30.0%的表面活性剂、0.05~0.5%的缓蚀剂、0.05~0.5%的纳米消泡剂和0.2~1.0%的水溶性纳米二氧化硅,搅拌至完全溶解,即得本发明纳米水基清洗剂。
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