[发明专利]一种集电极终端具有介质层的绝缘栅双极型晶体管无效

专利信息
申请号: 201210333321.4 申请日: 2012-09-11
公开(公告)号: CN102832240A 公开(公告)日: 2012-12-19
发明(设计)人: 张金平;李巍;夏小军;安俊杰;张灵霞;李泽宏;任敏;张波 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L29/739 分类号: H01L29/739;H01L29/08
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 温利平
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 集电极 终端 具有 介质 绝缘 栅双极型 晶体管
【权利要求书】:

1.一种集电极终端具有介质层的绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述绝缘栅双极型晶体管的集电极终端区域具有一层介质层(17);所述介质层(17)具体位于P型集电区(10)的终端区域或金属集电极(3)的终端区域。

2.根据权利要求1所述的集电极终端具有介质层的绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述介质层(17)为连续结构或非连续结构。

3.根据权利要求1所述的集电极终端具有介质层的绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述介质层(17)材料为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或硼磷硅玻璃。

4.根据权利要求1所述的集电极终端具有介质层的绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述介质层(17)的长度、宽度、厚度及形状等可根据设计要求而相应变化。

5.根据权利要求1所述的集电极终端具有介质层的绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述绝缘栅双极型晶体管的栅电极为平面栅、沟槽栅或具有载流子存贮层的平面栅或沟槽栅。

6.根据权利要求1所述的集电极终端具有介质层的绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述绝缘栅双极型晶体管的集电极可以是电场终止结构、透明阳极结构或阳极短路结构。

7.根据权利要求2所述的集电极终端具有介质层的绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,当所述介质层(17)为非连续结构时,介质层(17)的间隔区域上方还具有第二P型集电区(18);所述第二P型集电区(18)与P型集电区(10)具有相同或不相同的掺杂浓度、厚度和形状。

8.根据权利要求1至7任一所述的集电极终端具有介质层的绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述绝缘栅双极型晶体管的半导体材料采用硅、碳化硅、砷化镓或者氮化镓;其电极和金属连线采用铝、铜或者其它金属或合金。

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