[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有：卡盘台，其保持被加工物；激光光线照射构件，其照射相对于该卡盘台所保持的被加工物具有透过性的波长的脉冲激光光线；加工进给构件，其对该卡盘台和该激光光线照射构件在加工进给方向（X轴方向）上进行相对的加工进给；X轴方向位置检测构件，其检测由该加工进给构件进行加工进给所致的该卡盘台的X位置；以及控制构件，其根据来自该X轴方向位置检测构件的检测信号来控制该激光光线照射构件，

该激光加工装置的特征在于，

该激光光线照射构件具有：

脉冲激光光线振荡构件；

聚光器，其具有聚光透镜，该聚光透镜对该脉冲激光光线振荡构件振荡出的脉冲激光光线进行会聚而照射到该卡盘台所保持的被加工物上；以及

压电电机，其使该聚光器与聚光透镜的光轴（Z轴方向）成规定角度（α）来位移，

该控制构件针对脉冲激光光线的重复频率，控制施加给该压电电机的高频电流的频率和电压，在对卡盘台在X轴方向上加工进给时，将该聚光器在X轴方向上移动Δx并在Z轴方向上移动Δz，从而使通过该聚光透镜会聚的脉冲激光光线的聚光点在该卡盘台所保持的被加工物的规定区域的厚度方向上位移。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

在设由该脉冲激光光线振荡构件振荡出的脉冲激光光线的重复频率为F赫兹、施加给该压电电机的高频电流的频率为H赫兹、通过施加给该压电电机的电压产生的该压电电机的振幅为Jμm、该加工进给构件所致的卡盘台的移动速度为Vμm/秒、通过脉冲激光光线的1发射而形成的改质层的厚度为hμm的情况下，满足（2×J×H）×sinα=V，Δx成为V/F，满足（2×J×H×1/F）×cosα≤h，Δz成为（2×J×H×1/F）×cosα。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

当在该压电电机的振动周期中的从该聚光器的下方位置位移到上方位置的期间，照射2发射以上的n发射的脉冲激光光线时，设定为H≤F/2n。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其中，

在设该被加工物中的应加工区域的间隔为A时，设定为H=V/A。