[发明专利]一种电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器

权利要求书

1.一种电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器,包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入电极和交流输出电极及其交流输入接头、交流输出接头，其特征在于在基片上还设有一两端带定位头的静电电极、在两定位头的端面均设有绝缘片，而在交流输入电极与交流输入接头之间、交流输出与交流输出接头之间均分别设有包含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的电极移动定位组件；两端带定位头的静电电极固定于基片上、各绝缘片则平整地固定于定位头的表面，电极移动定位组件通过两电极杆分别与对应的交流输入电极及交流输出电极后端紧固连接、而通过两电极臂的一端分别与对应的交流输入电接头及交流输出电接头连接，电极杆的外端则分别与相应电极臂的中部固定连接，两电极臂的另一端则分别悬置于正对静电电极定位头端面的外侧、并与定位头端面上的绝缘片间隔一设定的距离，两弹性导向臂的对称中心分别与相应的电极杆中部固定连接、而两端则分别与对应的支承柱及交流输入电接头、交流输出电接头连接。

2.按权利要求1所述电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器，其特征在于所述弹性导向臂为波纹臂。

3.按权利要求1所述电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器，其特征在于所述电极杆的外端则分别与相应电极臂的中部固定连接，其连接部位为电极臂中部距固定端三分之一或二分之一处。

4.按权利要求1所述电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器，其特征在于所述两电极臂的另一端与绝缘片之间的间隔为两电极与振动圆盘之间最小间隙的3倍或2.2倍。