[发明专利]辐射源

权利要求书

1.一种辐射源，包括：

贮存器，配置成保持一体积的燃料；

喷嘴，与贮存器流体连接并配置成沿着朝向等离子体形成位置的轨迹引导燃料流；

激光器，配置成将激光辐射引导到在等离子体形成位置处的所述流上，以在使用中产生用于产生辐射的等离子体；和

正透镜布置，配置成朝向等离子体形成位置将燃料流的轨迹的至少潜在的展度范围聚焦，所述透镜包括电场生成元件和/或磁场生成元件。

2.根据权利要求1所述的辐射源，其中透镜布置配置成确保喷嘴的位置或方向变化被在等离子体形成位置的预期位置处或相对于等离子体形成位置的预期位置以小于或等于1的倍数放大。

3.根据权利要求1或2所述的辐射源，其中所述透镜布置还配置成用作下述配置中的一个或更多个、或至少形成下述配置中的一个或更多个的一部分：

用于从喷嘴抽取燃料的抽取配置；

用于将构成燃料流的燃料加速的加速配置；

用于将构成燃料流的燃料减速的减速配置；和

用于给构成或将构成燃料流的燃料充电的充电配置。

4.根据权利要求3所述的辐射源，其中所述透镜布置能够在所述一个或更多的配置之间切换。

5.根据权利要求4所述的辐射源，其中所述透镜布置能够通过在下述部件之间施加适合的电势差来进行切换：

透镜布置的一个或更多的部件；

透镜布置和喷嘴的一个或更多的部件；和/或

透镜布置和充电布置中的一个或更多的部件。

6.根据权利要求4或5所述的辐射源，其中控制器布置成在燃料流的一部分从喷嘴行至等离子体形成位置时执行在所述配置中的一个或更多个配置之间的切换。

7.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中所述透镜布置的位置和/或方向是能够控制的，用于控制聚焦点的位置。

8.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中一个或更多的另外的正透镜布置被沿着轨迹的潜在展度范围提供和设置。

9.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中所述透镜布置是静电透镜布置、静磁透镜布置和/或单透镜。

10.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，还包括用于给构成燃料流或将构成燃料流的燃料充电的充电配置。

11.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中所述燃料流包括燃料液滴的流。

12.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中所述燃料是熔融的金属。

13.一种流体流生成器，包括：

贮存器，配置成保持一体积的流体；

喷嘴，与贮存器流体连接并配置成沿着朝向目标位置的轨迹引导流体流；和

正透镜布置，配置成朝向目标位置将流体流的轨迹的至少潜在的展度范围聚焦，所述透镜包括电场生成元件和/或磁场生成元件。

14.一种光刻设备，包括：

照射系统，用于提供辐射束；

图案形成装置，用于在辐射束的横截面中将图案赋予辐射束；

衬底保持装置，用于保持衬底；

投影系统，用于将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上，和

其中所述光刻设备还包括根据前述权利要求中任一项所述的辐射源或流体流生成器，或与根据前述权利要求中任一项所述的辐射源或流体流生成器相连接。

15.一种使燃料流生成器的带电的燃料流的轨迹的潜在展度范围会聚的方法，所述方法包括步骤：

使用电场和/或磁场建立正透镜；和使带电的燃料流穿过正透镜。