[发明专利]防断电保护的硅片清洗机有效
| 申请号： | 201210348357.X | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102861745A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 张绍国;何金群;裴立坤;吴仪;王好肖 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 断电 保护 硅片 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种防断电保护的硅片清洗机，其特征在于，包括：工艺腔室和位于工艺腔室底部的N2管路，所述N2管路包括：常开N2管路和常闭N2管路，所述常开N2管路与常闭N2管路并联设置，所述常开N2管路上设有常开波纹密封阀，所述常闭N2管路上设有常闭波纹密封阀。
2.如权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于，当所述常开波纹密封阀打开时，所述闭波纹密封阀关闭；当所述常开波纹密封阀关闭时，所述闭波纹密封阀打开。
3.如权利要求1或2所述的硅片清洗机，其特征在于，所述常开波纹密封阀和常闭波纹密封阀通过电磁阀岛气动控制。
4.如权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于，防断电保护的硅片清洗机还包括：位于常闭波纹密封阀前端管路上的压力针阀。
5.如权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于，防断电保护的硅片清洗机还包括：位于常闭波纹密封阀后端管路上的单向阀。
6.如权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于，防断电保护的硅片清洗机还包括：位于常开波纹密封阀后端管路上的超声波流量计和过滤器，所述超声波流量计位于所述过滤器的前端管路上。
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