[发明专利]一种多阻态忆阻器有效

专利信息
申请号: 201210348359.9 申请日: 2012-09-18
公开(公告)号: CN102832343A 公开(公告)日: 2012-12-19
发明(设计)人: 刘力锋;后羿;陈冰;李悦;于迪;高滨;韩德栋;王漪;康晋锋;张兴 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 多阻态忆阻器
【权利要求书】:

1.一种多阻态忆阻器,其特征在于,包括:自下而上依次形成的底电极层、阻变层和顶电极层;其中,

所述顶电极层和所述底电极层,用于与外部电源进行电连接;

所述阻变层,用于实现多阻态之间的转换。

2.如权利要求1所述忆阻器,其特征在于,

所述底电极为惰性金属、氮化钛和重掺杂硅中的一种;

所述阻变层为氧化铪;

所述顶电极为氮钛钽。

3.如权利要求1所述忆阻器,其特征在于,还包括:电极引出层,用于分别引出顶电极和底电极,并与外部电源进行电连接。

4.如权利要求3所述忆阻器,其特征在于,所述电极引出层为铝铜合金。

5.如权利要求1所述忆阻器,其特征在于,还包括位于底电极层下的衬底层。

6.如权利要求5所示忆阻器,其特征在于,所述衬底层的材料为硅。

7.如权利要求6所述忆阻器,其特征在于,所述衬底层与所述底电极层之间还包括:自下而上依次形成的二氧化硅层和钛层;用于粘附所述底电极层和所述衬底层。

8.如权利要求1所述忆阻器,其特征在于,还包括:隔离层,用来隔离不同的多阻态忆阻器。

9.如权利要求8所述忆阻器,其特征在于,所述隔离层包括自下而上依次形成的氮化硅层和二氧化硅层。

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