[发明专利]自动化物料传输系统及其方法有效

专利信息
申请号: 201210349599.0 申请日: 2012-09-18
公开(公告)号: CN102897538A 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 李佳青 申请(专利权)人: 上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: B65G49/07 分类号: B65G49/07;B65G47/91
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;林彦之
地址: 201210 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 自动化 物料 传输 系统 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种自动化物料传输系统,其特征在于,包括:

存储设备,包括至少一个存储单元,所述存储单元中分层存储有物料;

导轨,与所述物料的生产区域的主导轨一体,并设置在所述存储设备外围侧;

物料输送单元,用于存取所述物料并沿着所述导轨行驶以传输存取的所述物料;

位置传感器,用于确定所述物料输送单元在所述导轨上的第一位置;

传动单元,用于将存取的所述物料在存放位置与第二位置之间推送传递,所述第二位置与所述第一位置在竖直方向对应。

2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括:所述存储单元中设置有存储位,用于存放装载物料的容纳单元。

3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,同层的所有所述容纳单元共享设置一所述存储位,或者,同层的每个所述容纳单元单独设置一所述存储位。

4.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述容纳单元为前端开口片盒和/或标准机械界面盒。

5.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,同一层的所有所述存储位共享设置有一所述存取门。

6.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,同一层的每个所述存储位单独设置有一所述存取门。

7.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,同一层的所有所述存储位共享设置一所述传动单元,或者,同一层的每个所述存储位单独设置一所述传动单元。

8.根据权利要求6所述的系统,其特征在于,同一层的每个所述存储位单独设置一所述传动单元。

9.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述导轨设置在所述存储设备的单侧或者两侧。

10.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述传动单元包括传送带和用于驱动所述传送带动作的驱动单元,所述传送带上放置有所述容纳单元。

11.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述传动单元包括机械臂。

12.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述物料输送单元包括传输车和拾取单元,其中,所述传输车用于带动所述拾取单元沿着所述导轨行驶以传输所述物料;所述拾取单元设置在所述传输车前端,用于存取所述物料。

13.根据权利要求12所述的系统,其特征在于,所述拾取单元为机械手。

14.根据权利要求13所述的系统,其特征在于,所述机械手前端设置有拾取传感器,用于确定所述机械手是否抓放所述物料。

15.根据权利要求14所述的系统,其特征在于,所述拾取传感器为电阻式传感器、电容式传感器、电感式传感器、磁电式传感器、电涡流传感器、光电传感器中之一,或者其中至少两种的任意组合。

16.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,不同层且位于同一竖直方向的若干个所述物料共享设置一所述位置传感器。

17.根据权利要求16所述系统,其特征在于,所述位置传感器为一维条码传感器,或光栅尺位置传感器。

18.根据权利要求1至17任一所述的系统,其特征在于,所述物料为硅片。

19.一种自动化物料传输台,其特征在于,包括:

导轨,与物料的生产区域的主导轨一体;

物料输送单元,用于存取存储设备中的所述物料并沿着所述导轨行驶以传输所述物料;

位置传感器,用于确定所述物料输送单元在所述导轨上的第一位置;

传动单元,用于将存取的所述物料在存放位置与第二位置之间推送传递,所述第二位置与所述第一位置在竖直方向对应。

20.根据权利要求19所述的系统,其特征在于,所述导轨设置在所述存储设备的单侧或者两侧。

21.根据权利要求19所述的系统,其特征在于,所述物料输送单元包括传输车和拾取单元,其中,所述传输车用于带动所述拾取单元沿着所述导轨行驶以传输所述物料;所述拾取单元设置在所述传输车前端,用于存取所述物料。

22.根据权利要求21所述的系统,其特征在于,所述拾取单元为机械手。

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