[发明专利]光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法有效
| 申请号： | 201210350148.9 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102890429A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 陈修涛 | 申请（专利权）人： | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 300457 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 系统 倾斜 扫描 显示 提高 数据传输 速度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法，其特征在于，上位机将数据下发到下位机，下位机将数据存放在内存中缓存，然后对缓存的数据进行重新组合，形成微镜DMD上显示的图形数据；具体步骤如下：
（1）根据倾斜因子N确定一行数据的大小，并计算在一个Row地址下能存储的数据行数；
（2）重新排布内存地址的顺序，将Row地址放在最高位；
（3）根据倾斜因子N计算出读取的相邻两行数据的关系，将相邻的两行数据存放在同一个Row地址下；
（4）按行依次读取数据，并将数据重新组合形成微镜DMD倾斜显示需要的图形数据，存储在内存之中。
2.根据权利要求1所述的光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法，其特征在于，所述的倾斜因子N可以选取3～32间任一个整数。
3.根据权利要求1所述的光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法，其特征在于，所述的内存为动态同步存储器DDR2或DDR3。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津芯硕精密机械有限公司，未经天津芯硕精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210350148.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
