[发明专利]一种直写曝光机调整曝光面功率均匀性的装置及方法

权利要求书

1.一种直写曝光机调整曝光面功率均匀性的装置，其特征在于，主要包括有三个模块，分别为照明模块、投影曝光模块、功率探测模块，照明模块包括有曝光光源、光学透镜组和一个反光镜， 投影曝光模块包括有可编程的图形发生器和投影镜头，功率探测模块包括有功率探头和功率显示器，反光镜倾斜设置在曝光光源的前方光路上，反光镜的反射光路上依次设置光学透镜组、图形发生器，图形发生器的下方依次设置投影镜头、功率探头，功率探头的信号输出端与功率显示器连接。

2.根据权利要求书1所述的一种直写曝光机调整曝光面功率均匀性的装置，其特征在于，所述的曝光光源为激光器或者汞灯。

3.根据权利要求书1所述的一种直写曝光机调整曝光面功率均匀性的装置，其特征在于， 所述的反光镜是可以平移和俯仰可调的。

4.根据权利要求书1所述的一种直写曝光机调整曝光面功率均匀性的装置，其特征在于，所述的可编程的图形发生器为空间微反射镜阵列。

5.基于权利要求书1所述的直写曝光机调整曝光面功率均匀性的装置的方法，其特征在于，包含以下步骤：

(1) 打开曝光光源；

(2) 把可编程的图形发生器分为等面积的axb个区域，分别在可编程的图形发生器的每个小区域投影白图，白图即为测试图形；

(3) 分别记录每个测试图形对应的功率值W1，W2，W3，……Wn，其中，功率的最大值记为Wmax，功率的最大值记为Wmin，曝光面的功率均匀性U即为（Wmax-Wmin）/（Wmax+Wmin）；

(4) 如果曝光面的功率均匀性U不符合指标，则平移或者俯仰调整反光镜；

(5) 重复步骤(1)—(4)，直到曝光面的功率均匀性U符合指标。