[发明专利]导电薄膜、其制备方法及应用

权利要求书

1.一种导电薄膜，其特征在于，包括层叠的GAZO层及ReO₃层，其中，GAZO层为氧化镓，氧化铝和氧化锌掺杂的薄膜层。

2.一种导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将GAZO靶材、ReO₃靶材及衬底装入脉冲激光沉积设备的真空腔体，其中，真空腔体的真空度为1.0×10^-3Pa~1.0×10^-5Pa，GAZO靶材为氧化镓，氧化铝和氧化锌掺杂靶材；

在所述衬底表面沉积GAZO层，沉积所述GAZO层的工艺参数为：基靶间距为45mm~95mm，脉冲激光功率为80W~300W，工作压强3Pa~30Pa，惰性工作气体的流量为10sccm~40sccm，衬底温度为250℃~750℃；

在所述GAZO层表面沉积ReO₃层，沉积所述ReO₃层的工艺参数为：基靶间距为45mm~95mm，脉冲激光功率为80W~300W，工作压强3Pa~30Pa，工作气体的流量为10sccm~40sccm，衬底温度为250℃~750℃；

剥离所述衬底，得到所述导电薄膜。

3.根据权利要求2所述的导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述GAZO层的厚度为50nm~300nm，所述ReO₃层的厚度为3nm~20nm。

4.根据权利要求2所述的导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述GAZO靶材由以下步骤得到：按照各组份摩尔比为（0.1~10）：（0.3~15）：（75~99.6）将Ga₂O₃，Al₂O₃和ZnO粉体混合均匀，将混合均匀的粉体在900℃~1300℃下烧结制成靶材。

5.根据权利要求2所述的导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述ReO₃靶材由以下步骤得到：将ReO₃粉体在700℃~1100℃下烧结制成靶材。

6.一种有机电致发光器件的基板，其特征在于，包括依次层叠的衬底、GAZO层及ReO₃层，其中，GAZO层为氧化镓，氧化铝和氧化锌掺杂的薄膜层。

7.一种有机电致发光器件的基板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将GAZO靶材、ReO₃靶材及衬底装入脉冲激光沉积设备的真空腔体，其中，真空腔体的真空度为1.0×10^-3Pa~1.0×10^-5Pa，GAZO靶材为氧化镓，氧化铝和氧化锌掺杂靶材；

在所述衬底表面沉积GAZO层，沉积所述GAZO层的工艺参数为：基靶间距为45mm~95mm，脉冲激光功率为80W~300W，工作压强3Pa~30Pa，工作气体的流量为10sccm~40sccm，衬底温度为250℃~750℃；及

在所述GAZO层表面沉积ReO₃层，沉积所述ReO₃层的工艺参数为：基靶间距为45mm~95mm，脉冲激光功率为80W~300W，工作压强3Pa~30Pa，工作气体的流量为10sccm~40sccm，衬底温度为250℃~750℃。

8.根据权利要求7所述的有机电致发光器件的基板的制备方法，其特征在于，所述GAZO靶材由以下步骤得到：按照各组份摩尔比为（0.1~10）：（0.3~15）：（75~99.6）将Ga₂O₃，Al₂O₃和ZnO粉体混合均匀，将混合均匀的粉体在900℃~1300℃下烧结制成靶材。

9.根据权利要求7所述的有机电致发光器件的基板的制备方法，其特征在于，所述ReO₃靶材由以下步骤得到：将ReO₃粉体在700℃~1100℃下烧结制成靶材。

10.一种有机电致发光器件，包括依次层叠的阳极、发光层以及阴极，其特征在于，所述阳极包括依次层叠的衬底、GAZO层及ReO₃层，其中，GAZO层为氧化镓，氧化铝和氧化锌掺杂的薄膜层。