[发明专利]一种加工双面ITO玻璃的紫外激光刻蚀装置无效
| 申请号： | 201210351728.X | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103658992A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;宁军;高永强 | 申请（专利权）人： | 昆山思拓机器有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/062;B23K26/70;B23K26/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加工 双面 ito 玻璃 紫外 激光 刻蚀 装置 | ||
1.一种加工双面ITO玻璃的紫外激光刻蚀装置，包括：
紫外激光光路加工机构，所述紫外激光光路加工机构包括能量衰减部件、扫描部件，所述能量衰减部件用于激光束能量调节，所述扫描部件用于对双面ITO玻璃进行扫描；
和支撑机构，所述支撑机构包括上支撑机构和下支撑机构，所述上下支撑机构各包含有所述紫外激光光路加工机构；
和激光器。
2.根据权利要求1所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述能量调节部件包括能量衰减器或者布儒斯特镜。
3.根据权利要求1所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述扫描部件包括动态聚焦镜或振镜。
4.根据权利要求1所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述扫描部件包括动态聚焦镜和振镜。
5.根据权利要求1所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述紫外激光光路加工机构还包括安全部件。
6.根据权利要求5所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述安全部件为光闸。
7.根据权利要求1所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述紫外激光光路加工机构可以包括分光部件、反射部件，形成共用一台激光器的两套光路。
8.根据权利要求1所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述上支撑机构为龙门结构。
9.根据权利要求1所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述下支撑机构包括基座和工作台。
10.根据权利要求9所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述工作台包括X、Y向运动部件，所述X、Y向运动部件可载所述工作台作处于工作台平面上的运动。
11.根据权利要求9所述的紫外激光刻蚀装置，其特征在于，所述工作台还含吸附孔，所述吸附孔提供将双面ITO玻璃固定的吸力。
12.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述激光器为紫外激光器，所述激光器频率为10~300KHz，功率为0.2~25W。
13.根据权利要求12所述的刻蚀装置，其特征在于，所述激光器为100KHz，功率：0.5W的紫外激光器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山思拓机器有限公司，未经昆山思拓机器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210351728.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：灯具
- 下一篇：一种海岛型复合纤维及超细纤维织物
