[发明专利]一种硅基薄膜太阳能电池用绒面AZO薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种硅基薄膜太阳能电池用绒面AZO薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下主要步骤：

（1）取石英砂粉末与水混合并搅拌均匀，配制成石英砂粉末水溶液作为刻蚀玻璃的腐蚀液，简称石英砂腐蚀液；

（2）将上述石英砂腐蚀液通过喷头喷射到清洗干净的玻璃基片上进行刻蚀，控制石英砂腐蚀液的流速为0.1～1m/s，刻蚀时间为5～10分钟；

（3）在刻蚀完成的玻璃基片上采用射频磁控溅射技术制备AZO薄膜，得到的AZO薄膜即为绒面AZO薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种硅基薄膜太阳能电池用绒面AZO薄膜的制备方法，其特征在于，所述石英砂粉末粒度为400～500目。

3.根据权利要求1所述的一种硅基薄膜太阳能电池用绒面AZO薄膜的制备方法，其特征在于，所述石英砂与水的质量比为0.5～2。

4.根据权利要求1所述的一种硅基薄膜太阳能电池用绒面AZO薄膜的制备方法，其特征在于，所述喷头为圆形莲花喷头，喷孔数目为100～200个，喷孔直径为1～3厘米。

5.根据权利要求1所述的一种硅基薄膜太阳能电池用绒面AZO薄膜的制备方法，其特征在于，所述玻璃基片为铝硅酸盐玻璃基片。