[发明专利]液体材料气化装置

说明书

本申请为下述申请的分案申请：

原申请的申请日：2007年4月4日

原申请的申请号：2007800109411

原申请的发明名称：液体材料气化装置

技术领域

本发明涉及对半导体制造中所使用的各种液体材料进行气化用的液体材料气化装置。

背景技术

以往，已知有一种即使是容易引起热分解的液体材料也能在使其不热分解的状态下可靠地进行气化的液体材料气化装置。

具体来讲，这种液体材料气化装置包括：由具备流量控制功能的控制阀构成的气液混合部，该控制阀被供给液体材料和运载气体，控制液体材料的流量并使液体材料与运载气体混合；以及与该气液混合部分开独立设置的气化部，该气化部通过将经由管道导入的来自气液混合部的气液混合体从喷嘴部放出后进行减压而使液体材料气化并利用所述运载气体将该气化生成的气体导出；以及连接这些气液混合部和气化部的管道等（例如、参照专利文献1）。

专利文献1：日本专利特开2003－163168号公报

发明的公开

发明所要解决的技术问题

然而，在以往的结构中，存在的问题是若对将高沸点溶质溶解于低沸点材料溶剂而成的液体材料进行气化，则会发生在管道中仅低沸点材料溶剂气化、高沸点溶质成为残渣而将管道堵塞等现象。

本发明就是为了解决上述那样的技术问题，其主要目的在于提供一种优质的液体材料气化装置，即使是对将高沸点溶质溶解于低沸点材料溶剂而成的液体材料进行气化，也不会发生在管道中仅低沸点材料溶剂气化、高沸点溶质成为残渣而将管道堵塞那样的不良情况。

用于解决技术问题的方案

本发明的液体材料气化装置，其特征在于，包括：将液体材料与运载气体混合而生成气液混合体的气液混合部；对来自所述气液混合部的气液混合体进行气化、利用所述运载气体将该气化生成的气体导出到外部的加热型的气化部；以及连接所述气液混合部和所述气化部、内部具有所述气液混合体的流道的连接部；以及将所述连接部冷却的连接部冷却部。

其中，作为特别能确认本发明的液体材料气化装置的效果的“液体材料”，是将具有不同沸点的多种材料混合而成的液体状材料，例如可以列举有将高沸点溶质溶解于低沸点材料溶剂而成的液体材料。当然，使用该液体材料气化装置也能气化其他液体材料（例如，由单一成份构成的液体材料、将具有相同沸点的多种材料混合而成的液体材料等）。另外，液体材料的生成方法可以是任意的方法，例如将固体溶解于液体而成的方法、将液体相互间混合而成的方法等。

采用这种装置，由于连接部冷却部将连接部冷却，能减少气化部的热向气液混合部传热，能使通过连接部内的流道的气液混合体受到该热能的影响变小。因此，例如即使是对将高沸点溶质溶解于低沸点材料溶剂而成的液体材料进行气化，也能防止在管道和气液混合部内的液体流量控制用的隔膜中，仅低沸点材料溶剂气化、高沸点溶质成为残渣而将连接部的内部流道和隔膜堵塞那样的不良现象。

即，可提供优质的液体材料气化装置，即使在对由具有不同沸点的多种材料构成的液体材料进行气化的场合也能防止产生残渣并能良好地进行气化。

为了获取更高的防止残渣发生效果，最好是所述连接部冷却部对所述连接部的大致整体进行冷却。

即使所述气化部加热保温到约300度左右，也能通过连接部冷却部的作用将气液混合部保持在约60度左右，因此，不仅能确保高温型气化部的功能，而且能良好地防止产生残渣。

作为本发明的连接部冷却部的具体形态，可列举有所述连接部冷却部具有接受冷却气体的供给并安装于所述连接部的一个或多个连接部冷却翼片的结构。采用这种结构，不仅结构简单，而且能获得高冷却效果，能良好地防止产生残渣那样的不良现象。

此时，若将所述连接部冷却翼片配置在冷却箱内，该冷却箱具有将所述冷却气体导入内部的导入口和将冷却使用后的冷却气体向外部导出的导出口，则能向连接部冷却翼片有效地供给冷却气体，因此，不仅能有效地使连接部冷却翼片冷却，而且还能防止所需的冷却气体的冷气泄漏到冷却箱外部而造成浪费，有助于节能。

如果具备有预先对所述冷却气体进行冷却的冷却气体冷却部，则可获得连接部的更高的冷却效果，能有效地防止上述不良现象。

其中，作为所述冷却气体冷却部的最佳形态，可以列举有：该冷却气体冷却部具有一个或多个冷却气体冷却翼片、以及冷却气体冷却用珀耳帖元件，所述冷却气体冷却用珀耳帖元件的冷却侧安装于冷却气体的流道而其发热侧安装在所述冷却气体冷却翼片上。