[发明专利]用于换能器探头的换能器结构及其制作方法

权利要求书

1.一种用于超声探头(50)的构造中的复合陶瓷换能器结构(10)，所述结构(10)包括：

基板(16)；以及

多个压电换能器柱(14)，其在位于所述基板(16)的X-Y平面上的多个空间位置中可控制地形成于所述基板(16)上，所述多个压电柱(14)包括限定于所述基板(16)的X-Y-Z平面中的多个形状，所述多个压电换能器柱(14)被配置成便于最小化在所述超声探头(50)内的剪切波。

2.根据权利要求1所述的复合陶瓷换能器结构(10)，其特征在于，每个所述多个压电换能器柱(14)包括光可固化的压电陶瓷材料。

3.根据权利要求1所述的复合陶瓷换能器结构(10)，其特征在于，位于所述基板(16)的X-Y平面上的所述多个空间位置包括0-3、3-0、1-3、3-1、3-3和2-2复合结构(10)中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的复合陶瓷换能器结构(10)，其特征在于，在所述基板(16)的X-Y平面中的所述多个空间位置包括所述多个压电换能器柱(14)的非周期性布置。

5.根据权利要求1所述的复合陶瓷换能器结构(10)，其特征在于，所述多个压电换能器柱(14)中的至少一个具有不同于所述多个压电换能器柱(14)中的其余换能器柱的截面面积。

6.根据权利要求1所述的复合陶瓷换能器结构(10)，其特征在于，所述多个压电换能器柱(14)中的至少一个具有不同于所述多个压电换能器柱(14)中的其余换能器柱的侧部轮廓。

7.根据权利要求1所述的复合陶瓷换能器结构(10)，其特征在于，所述多个压电换能器柱(14)中的至少一个具有不同于所述多个压电换能器柱(14)中的其余换能器柱的高度。

8.根据权利要求1所述的复合陶瓷换能器结构(10)，其特征在于，所述多个压电换能器柱(14)中的至少一个具有不同于所述多个压电换能器柱(14)中的其余换能器柱的密度。

9.根据权利要求1所述的复合陶瓷换能器结构(10)，其特征在于，所述多个压电换能器柱(14)中的至少一个具有不均匀的密度。

10.根据权利要求1所述的复合陶瓷换能器结构(10)，其特征在于，至少一个所述多个压电换能器柱(14)与所述多个压电换能器柱(14)中的相邻压电换能器柱(14)不等距地间隔开。