[发明专利]一种纤维增强钛基复合材料前驱体的制备方法

权利要求书

1.一种纤维增强钛基复合材料前驱体的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤一、制备SiC_f/La₂Zr₂O₇丝：

步骤101、将锆酸镧、钛合金和碳化硅纤维一起放入多靶磁控溅射仪的溅射室中，以锆酸镧为溅射靶材，以碳化硅纤维为基底材料；

步骤102、将溅射室抽真空至真空度为2×10^-5Pa～4×10^-5Pa，并将碳化硅纤维加热至490℃～510℃，然后向溅射室中通入氩气，在氩气压力为0.4Pa～0.6Pa、溅射功率为95W～105W的条件下进行磁控溅射处理，使锆酸镧溅射沉积于碳化硅纤维表面，得到SiC_f/La₂Zr₂O₇丝；

步骤二、制备纤维增强钛基复合材料前驱体：

步骤201、以步骤101中所述钛合金为溅射靶材，以步骤102中所述SiC_f/La₂Zr₂O₇丝为基底材料；

步骤202、将SiC_f/La₂Zr₂O₇丝加热至490℃～510℃，然后在氩气压力为0.9Pa～1.1Pa、溅射功率为140W～160W的条件下进行磁控溅射处理，使钛合金溅射沉积于SiC_f/La₂Zr₂O₇丝表面，最终得到SiC_f/La₂Zr₂O₇/Ti合金，即纤维增强钛基复合材料前驱体。

2.根据权利要求1所述的一种纤维增强钛基复合材料前驱体的制备方法，其特征在于，步骤101中所述锆酸镧为烧绿石结构。

3.根据权利要求1所述的一种纤维增强钛基复合材料前驱体的制备方法，其特征在于，步骤101中所述钛合金为TC4钛合金、TB8钛合金或Ti600钛合金。

4.根据权利要求1所述的一种纤维增强钛基复合材料前驱体的制备方法，其特征在于，步骤102中所述SiC_f/La₂Zr₂O₇丝中锆酸镧的厚度为80nm～120nm。

5.根据权利要求1所述的一种纤维增强钛基复合材料前驱体的制备方法，其特征在于，步骤102中所述磁控溅射为射频磁控溅射。

6.根据权利要求1所述的一种纤维增强钛基复合材料前驱体的制备方法，其特征在于，步骤202中所述纤维增强钛基复合材料前驱体中钛合金的厚度为30μm～50μm。

7.根据权利要求1所述的一种纤维增强钛基复合材料前驱体的制备方法，其特征在于，步骤202中所述磁控溅射为直流磁控溅射。