[发明专利]利用倾斜驱动的闸门阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用倾斜驱动的闸门阀，更详细地涉及一种能够完全封闭腔室内部空间的利用倾斜驱动的闸门阀。

背景技术

一般来说，腔室是为了在真空或高洁净环境下制造半导体芯片、晶圆或液晶屏等高技术设备或医疗器械而使用的工业设备设施，在腔室内附着的闸门阀起到腔室的出入口作用，将阀门瞬间打开将半导体芯片等移动到腔室内，再将阀门关上以维持腔室内的气密状态的装置。

这种以往的闸门阀的基本结构如下：在壳体内部安装有用于开闭设置在壳体两侧出入口的阀体，上述阀体通过驱动汽缸的驱动进行升降移动并将壳体的出入口选择性地开闭而维持对一侧腔室的气密。

如上所述，随着在腔室内完成的生产作业，阀体在壳体内无数次垂直升降移动而开闭出入口，而在此时，由于不能维持阀体和壳体间的气密状态，因此存在无法维持腔室的真空状态的问题。

为了解决如上问题，曾研究出利用连杆机构开闭腔室的闸门阀，但是闸门无法垂直接触于腔室而产生大量的粉尘，且由此而导致从腔室内泄露的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的是提供一种利用倾斜驱动的闸门阀，该闸门阀通过倾斜驱动方式实现L字型驱动，从而能够实现坚固的密封。

上述目的通过以下技术方案实现。本发明的利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括：闸门，沿着与上述开口部的表面平行的第一轴或与上述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与上述腔室的外壁接触或解除接触来开闭上述开口部；驱动部，供给上述第一轴方向的移动力；楔部，安装在上述闸门，外表面形成有斜面；及方向转换部，与上述驱动部连接，为了将从上述驱动部提供的第一轴方向的移动力转换成第二轴方向的移动力并供给到上述闸门，上述方向转换部的外表面形成有斜面，使得能够从上述楔部滑移。

而且，上述闸门可从与上述开口部相对的固定位置，在第一轴上的移动固定的状态下沿着上述第二轴移动到上述开口部侧以阻断开口部。

而且，沿着上述驱动部在阻断上述开口部时的动作方向，上述楔部可形成有逐渐变高的斜面，沿着上述驱动部在阻断上述开口部时的动作方向，上述方向转换部可形成有逐渐变低的斜面。

而且，可进一步包括设置在上述腔室的外壁上的止挡件，上述止挡件与上述闸门的端部接触，限制闸门在上述固定位置上沿着第一轴移动。

而且，可进一步包括弹性件，上述弹性件连接上述楔部和上述方向转换部，对上述楔部和上述方向转换部提供相互吸引方向的弹性力。

而且，上述驱动部可为空压缸。

根据本发明，提供一种能够实现坚固密封的利用倾斜驱动的闸门阀。该闸门阀通过以垂直方向转换的L字型驱动方式密封腔室开口部，从而能够对与腔室部接触的闸门施加均匀的载荷，因此不会导致泄漏而能够实现坚固的密封。

而且，通过借助斜面间的滑移来驱动的L字型驱动，能够减少阀门和腔室部之间接触时产生的粉尘。

而且，本发明的适用可以不受制于作为开闭对象的腔室外部的压力条件。

附图说明

图1是根据本发明的一实施例的利用倾斜驱动的闸门阀的示意图。

图2是图1的利用倾斜驱动的闸门阀的分解立体示意图。

图3至图5是利用图1所示利用倾斜驱动的闸门阀将腔室的开闭部阻断的动作示意图。

图6至图8是利用图1的利用倾斜驱动的闸门阀将腔室的开闭部开放的动作示意图。

110：阀门                                120：驱动部

130：楔部                                140：方向转换部

150：止挡件                              160：弹性件

具体实施方式

以下，参照附图详细说明根据本发明一实施例的利用倾斜驱动的闸门阀100。

图1是根据本发明的一实施例的利用倾斜驱动的闸门阀的示意图，图2是图1的利用倾斜驱动的闸门阀的分解立体示意图。

参照图1及图2，根据本发明一实施例的利用倾斜驱动的闸门阀100是利用斜面间的动力变换结构能够将腔室10的开口部12紧密密闭的闸门阀，包括闸门110、驱动部120、楔部130、方向转换部140和止挡件150和弹性件160。

另外，在本实施例中后述的腔室10是根据工艺将内部空间从外部空间坚固密闭的对象，在外壁形成有开口部12。因此，在本实施例中说明的利用倾斜驱动的闸门阀100的用途是开闭开口部12。