[发明专利]流量控制机构以及具有该流量控制机构的气相色谱仪

说明书

技术领域

本发明涉及介于气体供给源与将气体导至既定部位的气体管道之间并控制气体流量的流量控制机构以及具有该流量控制机构的气相色谱仪。

背景技术

气相色谱仪包括分析柱、用来将试料导至分析柱的试料导入流路、用来将试料注入试料导入流路的试料注入部、用来将载气供给到试料注入部的载气供给部以及检测部（例如参照专利文献1）。试料从试料导入部注入，通过由载气供给部供给的载气被运送到分析柱，由分析柱进行分离，其成分由设于分析柱后级的检测器所检测。

这样的气相色谱仪中，为了调整来自高压储气瓶的载气供给量，利用了流量控制器（流量控制装置），所述流量控制器是在内部设有流路的流路基板上搭载流量控制阀、压力传感器、流量传感器等设备的流量控制机构。

用图5来说明以往的气相色谱仪的流路构成。

在设于流量控制部160上的配管连接部116上，连接有载气流路110、净化气体流路112及分离气体流路114的一端。载气流路110、净化气体流路112及分离气体流路114的另一端连接到试料导入部102上。载气流路110是用于将载气导入试料导入部102的配管，净化气体流路112是用于排出净化试料导入部102的内部用的净化气体的配管，分离气体流路114是用于排出未导入分析柱106的试料和载气的配管。另外，就利用载气的一部分作为净化气体。

流量控制部160具有流路118、120以及122，这些流路118、120以及122的一端连接到配管连接部116。流路118、120以及122的另一端分别连接到配管连接部126、140以及154上。配管连接部126上连接通到用于供给载气的高压储气瓶的配管，配管连接部140上连接用于向外部排出净化气体的配管，配管连接部154上连接用于向外部排出分离气体的配管。

流路118上，从配管连接部126侧依次设置压力传感器134、流量传感器135以及流量控制阀128。流路120上，从配管连接部140侧依次设置压力传感器148、流量控制阀142以及压力传感器150。流路122上设置流量控制阀156。

如图6所示，流量控制部160能够利用内部形成有流路的流路基板161来构成。图6的例中，流路基板161的内部具有流路118、120以及122，在表面上设有通到各流路的孔，在孔的位置上有连接部件，通过连接部件分别安装配管连接部、压力传感器、流量传感器、以及流量控制阀等。为保持各要素的流路连接部分的气密性，用氟橡胶等制成的O型圈加以密封。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-19165号公报

发明内容

发明所要解决的课题

如上所述，以往的气相色谱仪的气体流量控制机构因流路连接配管连接部、压力传感器、流量传感器、流量控制阀、及连接部件等多个构成要素，所以流路的连接部多。虽然构成部件与流路之间的连接部用氟橡胶等制成的O型圈来保持气密性，但存在内部气体从这些连接部泄漏或外部空气和不纯物混入流路内部的可能性。即使是微量的外部空气或不纯物混入气相色谱仪的流路内的话，就有可能对气相色谱仪的分析结果带来影响。流路连接的构成部件越多，这种危险性就越高。

因此，本发明的目的在于降低在控制气体的流量的流量控制机构中的气体向外部的泄漏或从外部混入不纯物的可能性。

解决课题的手段

本发明的流量控制机构，由一个一体化而成的部件所构成，所述部件将下述各部分做成一体：用于连接供给气体的气体供给源的第一连接部；用于连接气体流路的第二连接部，所述气体流路用于将来自所述气体供给源的气体导至既定部位；连接所述第一连接部与所述第二连接部之间的内部流路；以及流量控制阀，所述流量控制阀通过调整所述内部流路的流路宽度来控制流过所述第一连接部与所述第二连接部之间的气体的流量。

以往，为构成控制从气体供给源至气体流路的气体供给量的流量控制机构，必须进行气体供给源-连接部件-流路-连接部件-流量控制阀-连接部件-流路-气体流路这样的连接。因此，使用O型圈等的密封部件的流路连接部分很多。

与之相对，本发明的流量控制机构由一个一体化而成的部件所构成，所述部件将下述各部分做成一体：用于连接气体供给源的第一连接部，用于连接气体流路的第二连接部，连接第一连接部与第二连接部之间的内部流路，以及控制流过第一连接部与第二连接部之间的气体流量的流量控制阀。因此，能以载气供给部-流量控制部件-气体流路这样的简单构成来实现控制从气体供给源至气体流路的气体的供给量的流量控制机构，能大幅减少使用O型圈等的密封部件的流路连接部分。