[发明专利]传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备

权利要求书

1.一种传感器元件，其特征在于，具备：

基部；

驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；

振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；

检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号；

第一电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生电荷；

第二电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生与由所述第一电极产生的电荷极性相反的电荷。

2.如权利要求1所述的传感器元件，其中，

将来自所述第一电极的电荷与来自所述第二电极的电荷相加而得到的电荷，与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷为相反极性。

3.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，

所述振动臂具有第一面、该第一面的相反侧的第二面、以及对所述第一面和所述第二面进行连结的一对侧面，

所述第一电极包括第一主面电极和第一侧面电极，所述第一主面电极沿着所述振动臂的延伸方向而被设置在所述第一面以及所述第二面上，所述第一侧面电极被设置于一个所述侧面上，

所述第二电极包括第二主面电极和第二侧面电极，所述第二主面电极沿着所述振动臂的延伸方向，而以与所述第一电极并排的方式被配置在所述第一面以及所述第二面上，所述第二侧面电极被设置于另一个所述侧面上。

4.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，

在所述振动臂的顶端部上设置有质量调节部。

5.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，

所述第一电极以及所述第二电极中的至少一方具备：共用部，其沿着所述振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支。

6.如权利要求5所述的传感器元件，其中，

多个所述分支部的电极宽度在顶端侧比在所述共用部侧大。

7.如权利要求5所述的传感器元件，其中，

所述分支部相对于所述共用部的所述延伸方向而倾斜。

8.如权利要求5所述的传感器元件，其中，

所述振动臂具有沿着所述延伸方向而设置的槽部，

所述分支部的至少一部分被设置于所述槽部的壁面上。

9.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，

具有检测用振动臂，所述检测用振动臂从所述基部延伸，并根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而进行振动，

所述检测用电极被设置于所述检测用振动臂上。

10.一种传感器元件的制造方法，其特征在于，

所述传感器元件具备：

基部；

驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；

振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；

检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号；

第一电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生电荷；

第二电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生与由所述第一电极产生的电荷极性相反的电荷，

所述传感器元件的制造方法包括电荷调节工序，在所述电荷调节工序中，通过对所述第一电极或所述第二电极的一部分或全部进行去除，从而对产生于所述第一电极或所述第二电极上的电荷量进行调节。

11.如权利要求10所述的传感器元件的制造方法，其中，

在所述电荷调节工序之前，包括：对在通过通电而使所述驱动用振动臂进行振动的状态下，产生于所述检测用电极上的电荷进行测量的工序；根据该测量结果而对所述振动臂的共振频率进行调节的工序。

12.一种传感器装置，其特征在于，具有：

权利要求1或2所述的传感器元件；

使所述传感器元件进行驱动的电路；

对来自所述检测部的输出进行检测的电路。

13.一种电子设备，其特征在于，

具有权利要求1或2所述的传感器元件。