[发明专利]水蒸气阻挡膜形成用蒸镀材及成膜方法以及水蒸气阻挡膜无效
| 申请号： | 201210359418.2 | 申请日： | 2012-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN103173717A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吉田勇气;樱井英章 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/24;B32B9/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水蒸气 阻挡 形成 用蒸镀材 方法 以及 | ||
【权利要求书】：
1.一种水蒸气阻挡膜形成用蒸镀材，由纯度为98％以上且小于100％的第1氧化物和纯度为98％以上且小于100％的第2氧化物构成，其中，
所述第1氧化物为WO3，所述第2氧化物为ZnO或SiO中的至少一方，
将所述第1氧化物和所述第2氧化物的含有摩尔量分别设为X摩尔、Y摩尔时，组成比为0.05≤X摩尔/（X摩尔＋Y摩尔）≤0.95。
2.如权利要求1所述的水蒸气阻挡膜形成用蒸镀材，其中，
所述蒸镀材由经过造粒处理的平均粒径为1～10mm的颗粒体构成。
3.如权利要求1所述的水蒸气阻挡膜形成用蒸镀材，其中，
所述蒸镀材由经过冲压成型的直径5～30mm、厚度1～20mm的粒料构成。
4.一种水蒸气阻挡膜的成膜方法，使用权利要求1～3中任一项所述的蒸镀材，通过电阻加热法、电子束蒸镀法或反应性等离子体蒸镀法进行成膜。
5.一种水蒸气阻挡膜，使用权利要求1～3中任一项所述的蒸镀材并通过真空成膜法形成，且b*值的绝对值小于3，并且水蒸气透过率为0.1g/m2·天以上且小于1.0g/m2·天。
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