[发明专利]涡轮分子泵装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种涡轮分子泵装置(Turbo Molecular Pump)。

背景技术

涡轮分子泵装置安装在半导体装置、液晶等的制造装置中，使内置的转子高速旋转，而将气体分子从进风口引入，并从出风口排出，从而使制造装置内部高真空。涡轮分子泵装置中有具有如下一体型构造的装置：在内置着转子的涡轮分子泵上利用紧固部件而固定着驱动控制该涡轮分子泵的控制单元(电源装置)。如果使控制单元与涡轮分子泵一体化，那么与涡轮分子泵的电动机、或磁性轴承连接的电缆的引导会变得简单，从而提高连接作业的效率。因此，这种使涡轮分子泵和控制单元一体化的涡轮分子泵装置尤其优选地用于需要多个涡轮分子泵装置的大型制造装置中。

由于涡轮分子泵的转子以高速旋转，所以存在因干扰等导致转子破坏的情况。如果转子受到破坏，那么转子的碎片会碰撞到壳体部件上，而对壳体部件赋予大的破坏扭矩(急停止扭矩)。在涡轮分子泵的进风口的周缘部设置着法兰盘，利用紧固部件将该法兰盘紧固在制造装置上，从而将涡轮分子泵固定在制造装置上。

控制单元是利用紧固部件而紧固并固定在制造装置上所固定的涡轮分子泵上。在转子受到破坏的情况下，由转子的碎片导致对壳体部件赋予的破坏扭矩也会被传递给控制单元。

为了使紧固控制单元和涡轮分子泵的紧固部件的强度能够承受破坏扭矩，而必须使紧固部件的尺寸较大，由此，会使控制单元大型化。

因此，已知有如下涡轮分子泵装置：在涡轮分子泵的壳体的底面形成着八边形的环状凹部，且在控制单元的壳体上设置着嵌合于环状凹部的环状凸部(例如，参照专利文献1)。在该涡轮分子泵装置中，通过使两壳体以环状凹部和环状凸部的角部接触而吸收破坏扭矩。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2010-236469号公报

在将控制单元紧固在涡轮分子泵上的构造中，转子的破坏扭矩也会被传递给控制单元。因此，在专利文献1所示的利用涡轮分子泵和控制单元的壳体来吸收转子的破坏扭矩的构造的情况下，控制单元的壳体必须具有能够承受破坏扭矩的强度。因此，必须使控制单元的壳体的壁厚增大，或由强度较大的材料形成壳体，而成为使装置大型化、或制造成本上升的主要原因。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的涡轮分子泵装置存在的缺陷，而提供一种新型结构的涡轮分子泵装置，所要解决的技术问题是使其作用在壳体部件上的破坏扭矩从壳体部件的第一、第二安装部传递给外部装置，由此可使紧固涡轮分子泵和控制单元的紧固部件及控制单元的壳体的强度变小，从而可使控制单元小型化，及/或使制造成本降低，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。为达到上述目的，依据本发明的涡轮分子泵装置的特征在于包括：涡轮分子泵，包含壳体部件、与收纳在壳体部件内的转子，使转子高速旋转而将气体分子从壳体部件的进风口输送到出风口；及控制单元，驱动控制涡轮分子泵；且在壳体部件中形成着设置在进风口的一侧且用来安装在外部装置上的第一安装部、与设置在出风口的一侧且用来安装在外部装置上的第二安装部；涡轮分子泵和控制单元是通过紧固部件而固定。外部装置其上安装了第一安装部与外部装置其上安装了第二安装部可以是同一个外部装置，也可以是不同的外部装置。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明涡轮分子泵装置至少具有下列优点及有益效果：根据本发明，作用在壳体部件上的破坏扭矩从壳体部件的第一、第二安装部传递给外部装置。因此，可使紧固涡轮分子泵和控制单元的紧固部件及控制单元的壳体的强度变小，从而可使控制单元小型化，及/或使制造成本降低。

综上所述，本发明的课题在于使一体地安装在涡轮分子泵上的控制单元小型化、或者降低制造成本。上壳体(12)通过插入到法兰盘(12a)的贯通孔(51)中的紧固部件(61)而紧固在外部装置的第一安装部件(91)上。紧固在上壳体(12)上的第一基座(14)通过插入到法兰盘(14b)的贯通孔(52)中的紧固部件(63)而紧固在外部装置的第二安装部件(92)上。控制单元(70)通过紧固部件(65)而紧固在第二基座(15)上。由于转子(30)破坏时的扭矩不作用在紧固部件(65)上，所以可使紧固部件(65)及控制单元(70)的壳体的强度较小。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明