[发明专利]基于剪切散斑干涉的光学离面位移场测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种基于剪切散斑干涉的光学离面位移场测量装置，其特征在于，该测量装置包括设有镜头、光圈调节装置和聚焦调节装置的摄像机（1）、第一半透半反镜（2）、第二半透半反镜（3）、第三半透半反镜（4）、第一反射镜（5）、第二反射镜（6）、第三反射镜（7）、压电陶瓷器（8）、电压控制器（9）和计算机（10）；其中，

第一半透半反镜的第一侧面（201）与摄像机（1）的镜头相对；第一半透半反镜的第二侧面（202）与第二半透半反镜的第四侧面（304）相对，第一半透半反镜的第三侧面（203）与第三半透半反镜的第一侧面（401）相对，第一半透半反镜的第一侧面（201）和第一半透半反镜的第三侧面（203）为第一半透半反镜（2）相对的两个侧面，第一半透半反镜（2）的反射面的一个端部位于第一半透半反镜的第三侧面（203）和第一半透半反镜的第二侧面（202）连接处，第一半透半反镜（2）的反射面的另一个端部位于第一半透半反镜的第一侧面（201）和第一半透半反镜的第四侧面（204）连接处；

第二半透半反镜的第二侧面（302）与第二反射镜（6）相对，第二反射镜（6）与第二半透半反镜（3）之间设有第二开关（12），第二半透半反镜的第一侧面（301）与第一反射镜（5）相对，第一反射镜（5）与第二半透半反镜（3）之间设有第一开关（11）；第二半透半反镜的第四侧面（304）和第二半透半反镜的第二侧面（302）为第二半透半反镜（3）相对的两个侧面；第二半透半反镜（3）的反射面的一个端部位于第二半透半反镜的第三侧面（303）和第二半透半反镜的第四侧面（304）连接处，第二半透半反镜（3）的反射面的另一个端部位于第二半透半反镜的第一侧面（301）和第二半透半反镜的第二侧面（302）连接处；

第三半透半反镜的第三侧面（403）与第三反射镜（7）相对，第三半透半反镜的第一侧面（401）和第三半透半反镜的第三侧面（403）为第三半透半反镜（4）相对的两个侧面，第三反射镜（7）背离第三半透半反镜（4）的一面设有压电陶瓷器（8），压电陶瓷器（8）与电压控制器（9）通过导线连接，电压控制器（9）与计算机（10）连接，摄像机（1）与计算机（10）连接。

2.按照权利要求1所述的基于剪切散斑干涉的光学离面位移场测量装置，其特征在于，所述的第三半透半反镜（4）的反射面的一个端部位于第三半透半反镜的第一侧面（401）和第三半透半反镜的第二侧面（402）连接处；第三半透半反镜（4）的反射面的另一个端部位于第三半透半反镜的第三侧面（403）和第三半透半反镜的第四侧面（404）连接处。

3.按照权利要求1所述的基于剪切散斑干涉的光学离面位移场测量装置，其特征在于，所述的第三半透半反镜（4）的反射面的一个端部位于第三半透半反镜的第三侧面（403）和第三半透半反镜的第二侧面（402）连接处；第三半透半反镜（4）的反射面的另一个端部位于第三半透半反镜的第一侧面（401）和第三半透半反镜的第四侧面（404）连接处。

4.按照权利要求1所述的基于剪切散斑干涉的光学离面位移场测量装置，其特征在于，所述的第一半透半反镜（2）、第二半透半反镜（3）、第三半透半反镜（4）均为立方体，且长度相等，高度相等，宽度相等。