[发明专利]激光输出调整装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光输出调整装置及方法。具体为，通过由第一测定部和第二测定部对在激光部生成的激光光束进行测定，可容易地对照射在基板上的激光光束的输出能量进行调整的激光输出调整装置及方法。

背景技术

近年来，随着平板显示器装置，尤其是在液晶显示器（LCD）的需求的增加和大型化的趋势，其应用程度、尺寸增大及分辨率增加的速度也在加快，且为提高生产效率并实现价格的低廉化，在简化制造工艺和提高收益率方面付出了很多努力。液晶显示器的基本结构，由形成有黑色矩阵、彩色滤光膜和共同电极的上部基板，及形成有像素区域、像素电极、开关元件和线路的下部基板，以及填充于所述上部基板和下述基板之间的液晶所构成。

这种在下部基板上形成的结构组成成分，导致在制造工艺中出现线路的断线或短路等不良现象，且随图像元件显示面积的大型化，这种缺陷也越来越多，因此，为提高液晶显示器的质量和稳定性，需要可消除这些缺陷的修补（Repair）技术。

一直备受瞩目的修补技术是，具备修补用的备用线路，在发生缺陷时，连接备用线路对断线进行修补的方法，但若修补线路过长时，信号水平会因线路电阻值而降低，从而对液晶面板的动作特性产生不利影响。

因此，最近较受欢迎的是使用激光化学气相沉积法的修补线路法。即，基本上是采用在发现缺陷时，利用激光来切断缺陷部位的某一部位，并通过化学气相沉积法来沉积修补线路并形成图案的方法，或是在线路断线时，通过激光化学气相沉积法（Laser CVD）沉积金属，从而使断开的线路电连接的方式，进而完成修补作业。这种激光化学气相沉积法修补方法的优点在于，断线时可立即在断线部位按所期望的形状生长金属线路，其修补工艺简单，且可进行包括光栅线路和数据线路在内的各种修补作业。而且，激光化学气相沉积法不仅可修补基板的缺陷，还可用于微细线路的沉积工艺。

参照图1，现有的激光化学气相沉积法装置中，在激光部100生成的激光光束10经过光学部200，在从加工部300照射到基板20的过程中，由加工部测定器310对其输出值进行测定。但激光光束10输出能量减少的现象发生时，则很难判断造成激光光束10输出能量减少的部位。另外，还存在难以将减少的激光光束的输出能量重新调整所需强度的难题。

另外，除了激光化学气相沉积法装置之外，对切断发生短路的不良线路对缺陷进行修补的一般激光装置，及用激光照射显示器的缺陷像素使其暗点化后对缺陷进行修补的高像素修补（HPR）装置等来说，准确保持使用者所期望的激光输出强度，在确保工艺可再现性和稳定性方面，尤为重要。

发明内容

因此，本发明旨在解决上述现有技术存在的各种问题，目的在于提供一种在激光的沉积和修补工艺中，使激光光束的输出能量始终保持一致的激光输出调整装置及方法。

此外，本发明的目的还在于，提供一种能够容易识别出造成激光光束输出能量减少的激光装置组成部分的激光输出调整装置及方法。

另外，本方明的目的还在于，提供一种在激光加工时，可实时对激光光束的输出能量进行测定的激光输出调整装置及方法。

还有，本发明的目的在于，提供一种在工艺中激光光束的输出能量出现异常时，可自动调整激光光束的输出能量，以增强工艺可靠性和稳定性的激光输出调整装置及方法。

为达到上述目的，本发明提供的激光输出调整装置的特点在于，包括：激光部，生成激光光束；光学部，提供上述激光光束所经过的路径；加工部，使经过上述光学部的激光光束照射到基板上；第一测定部，设置于上述激光部与上述光学部之间，用于测定在上述激光部生成的激光光束的输出能量；第二测定部，设置于上述光学部内，用于测定经过上述光学部的激光光束的输出能量；控制部，接收由上述第一测定部和上述第二测定部测定的激光光束的输出信号，将信号传送到上述激光部，从而调整在上述激光部生成的激光光束的输出能量。

另外，为达到上述目的，本发明的激光输出调整方法的特点在于，在生成激光光束的激光部和提供激光光束所经过的路径的光学部之间设置第一测定部，并将在第一测定部上测定的在上述激光部生成的激光光束的输出信号，和在设置于上述光学部内部的第二测定部所测定的经过上述光学部的激光光束的输出信号发送至上述激光部，从而调整在上述激光部生成的激光光束的输出能量。

如上所述，本发明提供的结构的效果在于：在利用激光进行沉积、修补的工艺中，可使所期望的激光光束的输出能量始终保持一致。

此外，本发明的效果还在于：可容易地确定出造成激光光束输出能量减少的激光装置组成部分，