[发明专利]基板的槽加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及槽加工装置，特别涉及如下的基板的槽加工装置：使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具沿基板的划线往复移动而在基板上形成槽。

背景技术

薄膜太阳电池例如用专利文献1所示的方法制造出来。在该专利文献1记载的制造方法中，在玻璃等基板上形成由Mo膜构成的下部电极膜，然后，通过在下部电极膜形成槽而分割成长条状。接着，在下部电极膜上形成包含CIGS(铜铟镓硒)膜等黄铜矿结构化合物半导体膜的化合物半导体膜。并且，将这些半导体膜的一部分通过槽加工呈带(stripe)状地除去而分割成长条状，并以覆盖它们的方式形成上部电极膜。最后，将上部电极膜的一部分通过槽加工呈带状地剥离而分割成长条状。

作为如上那样的工序中的槽加工技术的一种，采用了通过金刚石等机械工具除去薄膜的一部分的机械划线法。在该机械划线法中，提出有专利文献2所示的方法，从而能够进行稳定的宽度的槽加工。在该专利文献2所示的方法中，采用了具备用于调整加工负载的加工负载调整机构的槽加工工具以及剥离工具。

专利文献1：日本实开昭63-16439号公报

专利文献2：日本特开2002-033498号公报

在现有的槽加工装置或槽加工方法中，在连续地加工多个槽的情况下，重复如下动作：在加工完一个槽后，使头部上升并移动到加工开始位置，接着加工下一个槽。在这样的现有的装置和方法中，加工耗费时间，而且存在着必须对之前调整好的工具的按压力再次调整的情况。

因此，本案发明者们开发了能够高效且迅速地进行槽加工的加工装置并已经进行了申请(日本特愿2010-082953)。在该加工装置中，工具保持器以能够上下移动的方式安装于头部，并且，在所述工具保持器以能够在预定的角度范围内摆动的方式安装有摆动部件。槽加工工具被保持于摆动部件，摆动部件在前往移动时的前进切削姿势和返回移动时的后退切削姿势之间进行反转。在槽加工工具，在前往移动侧和返回移动侧设有对称的前部刀头和后部刀头。并且，在摆动部件处于前往移动(前进)切削姿势时，前部刀头与太阳电池基板接触，在摆动部件处于返回移动(后退)切削姿势时，后部刀头与太阳电池基板接触。

通过使用如上所述的槽加工工具进行槽加工，能够高效地进行槽加工。然而，由于固定有工具的摆动部件摆动自如，因此存在着在槽加工时工具和摆动部件向与移动方向正交的方向偏向的可能性。若在槽加工时工具向与移动方向正交的方向偏向的话，无法以高精度形成槽。

发明内容

本发明的课题在于，在使工具往复移动来进行槽加工的装置中，能够抑制工具的偏向，从而能够以高精度加工槽。

本发明第一方面涉及的基板的槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具沿基板的划线往复移动，从而在基板上形成槽，所述基板的槽加工装置具备：工作台，所述工作台用于载置基板；头部，槽加工工具装配于该头部；以及移动机构，所述移动机构用于使工作台和头部在水平面内相对地移动。头部具有能够上下移动的保持器、摆动部件和偏向限制机构。摆动部件保持槽加工工具，并且所述摆动部件由保持器支承成以与移动方向正交的摆动轴为支点摆动自如，并且所述摆动部件能够达到前往移动位置和返回移动位置。偏向限制机构限制前往移动位置和返回移动位置的摆动部件向摆动轴方向的偏向。

在该装置中，槽加工工具往复移动，并在前往移动时和返回移动时双方，在基板上形成槽。并且，摆动部件在前往移动时位于前往移动位置，而且在返回移动时位于返回移动位置。在这些位置中，通过偏向限制机构限制摆动部件的向与移动方向正交的方向的偏向。

在此，在前往移动时和返回移动时，摆动部件的偏向受到限制，因此限制了加工时槽加工工具的偏向。由此，能够以高精度加工槽的特别是与移动方向正交的方向的端面。

本发明第二方面涉及的基板的槽加工装置为，在第一方面的槽加工装置中，所述槽加工装置还具备一对止动件，所述一对止动件用于将摆动部件的摆动范围限制在前往移动位置和返回移动位置之间。

在该装置中，通过一对止动件限制摆动部件的摆动范围，并使摆动部件在前往移动时位于前往移动位置，在返回移动时位于返回移动位置。

本发明第三方面涉及的基板的槽加工装置为，在第二方面的槽加工装置中，摆动部件具有：工具装配部，所述工具装配部形成于摆动轴的下方，用于装配槽加工工具；以及抵接部，所述抵接部形成于摆动轴的上方且能够与一对止动件抵接。并且，偏向限制机构具有卡合部和被卡合部，所述卡合部和被卡合部形成在一对止动件和抵接部，所述被卡合部与所述卡合部卡合。