[发明专利]超快激光快速制备金属表面大面积纳米织构的方法

权利要求书

1.超快激光快速制备金属表面大面积纳米织构的方法，其特征在于：该方法采用超快激光直接扫描的方式在金属材料表面快速加工大面积的纳米织构条纹，具体步骤为：

1）选用任意金属材料的金属靶材，经表面抛光处理后固定于样品台上，所述的样品台为计算机编程控制的二维运动台；

2）超快激光依次经过滤波片、半波片、偏振分光棱镜后引入光学导光台，并经光学导光台上的聚焦镜聚焦至金属靶材表面，所述的光学导光台为计算机编程控制的二维运动台；

3）选择光学导光台固定、样品台运动，或者光学导光台运动、样品台固定的二选一工作方式，使得样品台与光学导光台之间产生相对运动，在超快激光与金属靶材表面之间通过搭接式来回扫描方式直接在金属靶材表面扫描形成规则的周期性纳米织构条纹；所述的搭接式来回扫描方式为光学导光台或者样品台首先水平方向移动，然后竖直方向移动，接下来继续水平方向移动，连续两次水平方向移动形成的纳米织构条纹在纵向进行部分交叠；如此周而复始，制备出大面积的纳米织构。

2.根据权利要求1所述的超快激光快速制备金属表面大面积纳米织构的方法，其特征在于：所述的超快激光光源为飞秒激光或亚皮秒激光，且超快激光波长可调。

3.根据权利要求1所述的超快激光快速制备金属表面大面积纳米织构的方法，其特征在于：通过调节样品台与光学导光台之间的相对运动速度控制大面积纳米织构形成的时间，且制备纳米织构的时间与相对运动速度成反比关系。