[发明专利]炉体排风控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体工艺热处理领域，尤其是涉及一种炉体排风控制装置。

背景技术

目前在半导体工艺热处理领域中，炉体排风控制装置的结构较复杂，现有排风控制装置的开关机构，多采用轮式往复运动结构或绕固定点旋转式结构，这些结构需要较大的安装及操作空间，结构复杂，缺乏稳定性，对炉体的隔热效果不理想，成本较高，安全隐患较多。

为了解决以上问题，本发明做了有益改进。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明的目的是提供一种通过气动单元，准确有效地实现炉体冷却排风的开关控制，并能够实时监控气动单元的动作状态的炉体排风控制装置。

（二）技术方案

本发明是通过以下技术方案实现的：一种炉体排风控制装置，其包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作。

进一步，所述的开关机构还包括开关连接部，所述的开关主体与该开关连接部相连；所述的气压驱动单元包括气缸，所述的气缸与所述的开关连接部相连，该气缸通过该开关连接部带动所述的开关主体运动；所述的气缸处于其行程的两个终点位置时，所述的开关主体处于对风口结构单元的开启状态和关闭状态。

此外，所述的开关主体为耐高温隔热材料制成。

再进一步，所述的气压驱动单元还包括气缸连接部，所述的气缸与气缸连接部相连；所述的气缸连接部的端部设置有柱形安装销；所述的开关连接部设有长圆孔，该长圆孔的长度方向为竖直方向，所述的柱形安装销横向地安装在所述的长圆孔中，所述的开关连接部与气缸连接部通过该柱形安装销相连。

此外，所述的气压驱动单元还包括气缸固定架，所述的气缸固定架的端部设有安装通孔，且所述的气缸通过螺母固定在所述的气缸固定架上；旋松所述的螺母，可调整该气缸在气缸动作方向上的位置。

进一步，所述的开关机构还包括开关罩板，所述的开关罩板设置在开关主体上；所述的开关连接部与该开关罩板固定连接。

进一步，还包括开关状态监控单元；所述的开关状态监控单元上设置有第一位置信号开关、第二位置信号开关和开关触板；所述的开关连接部与所述的开关触板连接，在所述的气缸行程的两个终点，所述的开关连接部带动所述的开关触板，使该开关触板分别触发所述的第一位置信号开关和第二位置信号开关。

此外，所述的风口结构单元包括风口隔热板和风口隔热罩，所述的风口隔热罩设在所述的风口隔热板上；所述的风口隔热板和风口隔热罩上分别设有第一通孔和第二通孔；所述的风口隔热板和风口隔热罩之间形成半密封空间，用于容纳开关主体，用于容纳开关主体；所述的半密封空间的侧部设有一个开口，用于通过开关主体，所述的开关主体穿过该开口并可在所述的半封闭空间直线往复移动；在开关机构开启状态下，所述的第一通孔和第二通孔形成通路；在开关机构关闭状态下，所述的开关主体完全隔断第一通孔和第二通孔。

其中，所述的开关机构在开关主体的两侧设置有导向杆，所述的开关主体两侧设有导向杆安装部，所述的风口结构单元设置有与所述的导向杆相对应的导向座；所述的导向杆一端与所述的导向杆安装部固定相连，该导向杆的另一端置于所述的导向座内且可沿该导向座移动。

所述风口结构单元还包括隔热罩固定板，所述隔热罩固定板安装在风口隔热罩外部，该隔热罩固定板将风口隔热罩与风口隔热板固定连接在一起。

进一步，所述导向座与所述隔热罩固定板为一体式结构。

进一步，所述的开关主体上设置有上滑条，在所述的风口结构单元的半封闭空间中设置有与所述上滑条相对应的下滑条，且该上滑条可在下该滑条上相对滑动。

其中，所述的上滑条和下滑条的材质为陶瓷。

此外，所述的开关主体在其动作方向上的前、后端分别设有凸缘结构，在所述的开关机构处于开启或关闭状态时，该开关主体前、后端的凸缘结构能够分别卡置于所述的半封闭空间侧部开口的端面。

（三）有益效果

与现有技术和产品相比，本发明有如下优点：

1.本发明能够利用实时的监控单元，有效对炉体排风的开关机构进行控制，使炉体排风控制可靠安全；

2.本发明能够有效阻挡炉体热量的逸出，具有良好的隔热效果；

3.本发明的炉体排风控制装置结构简单，能够进行精确运作，且成本较低。

附图说明

图1是本发明的立体结构图；

图2是本发明的结构俯视图；