[发明专利]用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖有效
| 申请号： | 201210366180.6 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN102865250A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 包中诚;陈超 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/52 | 分类号： | F04D29/52;F04D19/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 制造 抽吸 端口 遮挡 | ||
1.一种用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其中用于半导体制造的半导体制造设备包括涡轮分子泵、涡轮泵阀门、泵抽吸端口；其中，所述涡轮分子泵通过所述涡轮泵阀门与泵抽吸端口相连，其特征在于包括：所述泵抽吸端口遮挡盖用于盖在半导体制造装置腔体内的泵抽吸端口上。
2.根据权利要求1所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，所述泵抽吸端口遮挡盖包括：环形侧壁、以及布置在环形侧壁外周的密封圈。
3.根据权利要求1或2所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，所述密封圈是橡胶圈。
4.根据权利要求1或2所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，所述泵抽吸端口遮挡盖的所述圆形底部和所述环形侧壁的材料是不锈钢。
5.根据权利要求1或2所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，所述密封圈在环形侧壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮挡盖的盖口位置。
6.根据权利要求1或2所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，所述密封圈在环形侧壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮挡盖的盖口位置之外的位置。
7.根据权利要求1或2所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，所述泵抽吸端口遮挡盖的所述环形侧壁的与所述圆形底部相对的一侧具有内导角。
8.根据权利要求1或2所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，在所述环形侧壁的外壁上布置有洗槽，所述密封圈通过嵌入所述环形侧壁的外壁上的洗槽而固定。
9.根据权利要求8所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，所述密封圈嵌入环形侧壁的外壁上的洗槽的深度大约为橡胶圈的半径。
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