[发明专利]压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

说明书

技术领域

本发明涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

背景技术

在便携电话、便携信息终端设备上，采用利用水晶（石英）等作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等的压电振动器。已提供各式各样的这种压电振动器，但作为其中之一，众所周知具有所谓音叉型压电振动片的压电振动器。

音叉型振动片具有平行配置的一对振动臂部和支撑一对振动臂部的基端部的基部的结构。

而且，在压电振动片的表面形成有电极膜，通过对该电极膜施加电压，能够使一对振动臂部以既定的谐振频率在互相接近或分离的方向上振动。

然而，近年来，随着压电振动器搭载的设备的小型化，希望压电振动片小型化。

但是，例如收窄振动臂部的宽度时，形成在振动臂部上的电极膜（激振电极）的形成宽度也变小，其等效串联电阻值（晶体阻抗（Crystal Impedance）：CI值）上升而会使输出信号的品质恶化。

此外，一对振动臂部振动的谐振频率F可用

F＝k（W/L2）

表示（k：系数；w：振动臂部的宽度；L：振动臂部的长度）。因此，在改变振动臂部的长度或宽度时，谐振频率F会偏移。因而，为了实现压电振动片的小型化，要考虑使该谐振频率不偏移的同时进行小型化。

因此，众所周知在减小振动臂部的宽度时，在振动臂部的上下表面形成槽部的方案（例如，参照专利文献1）。在形成槽部的情况下，成对的激振电极彼此在槽部的两侧对置，因此能够使电场有效率地作用于其对置方向。由此，即便缩小振动臂部的宽度，也能提高电场效率，并能提高品质的同时谋求小型化。

专利文献

专利文献1：日本特开2009－81520号公报。

但是，如果在振动臂部形成槽部，就会降低振动臂部的刚性。特别是，在振动臂部的基端部和基部的连接部附近形成槽部的情况下，振动臂部得不到充分的强度，进而在该部分容易发生应力集中。因此，当外部撞击等作用于压电振动片时，会以振动臂部的基端部和基部的连接部附近为起点发生断裂等。

此外，在振动臂部的宽度相同的情况下，电场效率会与槽部的宽度增大成比例地升高，但其反面，槽部的宽度越大，振动臂部在扭转方向、厚度方向的刚性会下降，越容易发生变形。其结果，有可能会激励出以与希望的振动模式不同的振动模式的振动，这也与输出信号品质的下降相关。

发明内容

为此而完成的本发明的目的在于提供在抑制刚性下降的同时能谋求小型化并能防止输出信号品质的下降的压电振动片、具备该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

为了解决上述课题，本发明采用以下方案。

本发明的压电振动片，其特征在于，具备：互相平行地配置的一对振动臂部；以及将所述一对振动臂部的长度方向上的基端部侧固定成一体的基部，在所述一对振动臂部的主面，形成有位于所述振动臂部的所述基端部侧的第一槽部、和相对于所述第一槽部位于所述振动臂部的前端部侧的第二槽部，在所述振动臂部的主面上，所述第一槽部形成为沿着与所述振动臂部的长度方向正交的宽度方向的宽度小于所述第二槽部，在所述第二槽部形成有从该第二槽部的底面突出的加强肋。

根据本发明，由于形成在振动臂部的基端部侧的第一槽部的宽度形成得小于第二槽部，所以能够提高振动臂部在基端部上的刚性。由此，能够抑制应力集中到振动臂部的基端部。此外，在第二槽部内形成有加强肋，提高振动臂部在厚度方向、扭转方向的刚性。

因此，能够抑制振动臂部全体的刚性下降，并能防止在振动臂部中发生不需要的振动。因而，在谋求振动臂部的小型化的同时，还防止压电振动片的断裂等而能得到高的可靠性，并且抑制发生不需要的振动（以与希望的振动模式不同的振动模式进行的振动），能够抑制输出信号的品质下降。

此外，在本发明的压电振动片中，优选将第一槽部形成为其沿着振动臂部的长度方向的长度短于第二槽部。

在这种情况下，能更容易提高振动臂部在基端部上的刚性，并能抑制应力集中到振动臂部的基端部。

此外，在本发明的压电振动片中，优选所述第一槽部和所述第二槽部夹着分割壁沿着所述振动臂部的长度方向形成，所述分割壁沿着所述振动臂部的宽度方向，从所述振动臂部的前端部侧向基端部侧倾斜地设置。

在这种情况下，分割壁不仅具有宽度方向部分而且具有长度方向部分，因此会作为对振动臂部厚度方向的振动的加强部分而做贡献。因而，能有效地抑制振动臂部厚度方向的振动，更加容易抑制不需要的振动的发生。