[发明专利]一种真空低温恒温器

权利要求书

1.一种真空低温恒温器，包括：维持真空的真空腔；悬设在该真空腔内部的用于盛装第一致冷剂的第一腔(4)，该第一腔(4)连接有至少两根用于引入和/或排出流体的第一导管(2)，该第一腔(4)下方为冷却区域；悬设在该真空腔内部并围绕该第一腔(4)设置的用于盛装第二致冷剂的第二腔(5)，该第二致冷剂在标准大气压下的沸点高于该第一致冷剂，该第二腔(5)连接有至少两根用于引入和/或排出流体的第二导管(3)，该第二腔(5)能够给该第一腔(4)提供外部降温，其特征是，该第二腔(5)与该第一腔(4)由真空隔开。

2.根据权利要求1所述的真空低温恒温器，其特征是，该真空低温恒温器在该第一腔(4)与该第二腔(5)之间悬设有热辐射屏蔽罩(6)。

3.根据权利要求2所述的真空低温恒温器，其特征是，该真空低温恒温器在该第二腔(5)与该真空腔的腔壁之间悬设有热辐射屏蔽罩(7)。

4.根据权利要求1所述的真空低温恒温器，其特征是，该第一致冷剂为液氦，该第二致冷剂为液氮。

5.根据权利要求1所述的真空低温恒温器，其特征是，该真空低温恒温器包含三根周向均匀布置的该第一导管(1)以及三根周向均匀布置的该第二导管(2)。

6.根据权利要求1所述的真空低温恒温器，其特征是，在该第二腔(5)直接靠近该第一腔(4)的内侧腔壁上贴合无氧铜板以形成围绕该第一腔(4)的同温层(21)。

7.根据权利要求2或3所述的真空低温恒温器，其特征是，该真空低温恒温器中接触真空的材料均经过电解抛光处理。

8.根据权利要求1所述的真空低温恒温器，其特征是，该第一腔(4)与该真空腔通过减震机构相联结。

9.根据权利要求8所述的真空低温恒温器，其特征是，该减震机构包括：固定连接该第一腔(4)的顶法兰(12)；固定连接该第二腔(5)的中间法兰(10)，该中间法兰(10)通过波纹管(17)柔性密封连接该顶法兰(12)并通过外套管(1)固定密封连接真空腔；自该顶法兰(12)和该中间法兰(10)周缘的对应位置向外径向延伸的若干翼板(13)；适于缓冲震动的气垫腿(14)，该气垫腿(14)夹设于两块位置对应的该翼板(13)之间。

10.根据权利要求1所述的真空低温恒温器，其特征是，该第一腔(4)在靠近由第一致冷剂蒸发出的气体的出口(11)处填充有适于吸热的多孔材料。