[发明专利]平整度检测装置及其检测方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种平整度检测装置及其检测方法，且特别是有关于一种以光学图像信号判断待测工件的表面平整度的检测装置及其检测方法。

背景技术

在传统平整度的检测方法上，多是利用平台与间隙尺进行人工检测。其平整度检测方式过程为：先将待测物放置于一经过验证的基准平台上，然后操作人员利用标准规格的间隙尺，塞入待测物与平台之间的间隙以检验平整度是否合格。但是采用此方式检测待测物的平整度，受限于间隙尺的最小单位为0.1毫米(100微米)，故其精度一般只能达到0.1毫米，且检测过程需经由操作人员涉入判断，因此会有标准不一致的问题。此外，此方式为接触式的检测方式，即检测时待测物的表面需与间隙尺进行接触，而在检测过程中，难免发生碰撞与摩擦。如此，平台与间隙尺在长时间使用后其检测精度必然会下降，并且也可能使待测物的表面产生刮痕，进而影响表面质量。

发明内容

本发明是有关于一种平整度检测装置及其检测方法，通过间隙透光图像处理的方式来作为平整度检测的基准，并通过数值分析来计算待测物的下缘与承载平面之间的间隙高度，以判断平整度是否合格。

根据本发明的一方面，提出一种平整度检测装置，包括一承载平台、一发光模块、一光接收模块、一图像处理模块以及一比对模块。承载平台具有一平面，用以承载一待测物以及供一光线穿透。发光模块配置于承载平台中，用以发出此光线。此光线由待测物靠近此平面的侧边与此平面间射出而产生一检测光。光接收模块位于承载平台的一侧，用以接收检测光，并产生一图像信号。图像处理模块用以接收并处理图像信号，以测量待测物靠近此平面的侧边与平面间的一间隙高度。比对模块根据间隙高度与一标准值的比对结果，输出一检测信号，以判断间隙高度是否符合标准。

根据本发明的另一方面，提出一种平整度检测方法，包括下列步骤。将一待测物放置于一承载平台的平面上。使一光线由待测物靠近此平面的侧边与平面间射出而产生一检测光。对检测光进行一图像处理，以测量待测物靠近此平面的侧边与平面间的一间隙高度。根据间隙高度与一标准值的比对结果，产生一检测信号，以判断间隙高度是否符合标准。

为了对本发明的上述及其它方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1绘示依照本发明一实施例的平整度检测装置的方块示意图。

图2绘示一实施例中承载平台的内部示意图。

图3绘示依照一实施例的调光方法的流程图。

图4绘示依照本发明一实施例的间隙光图像处理方法的流程图。

图5绘示间隙光图像的放大示意图。

[主要元件标号说明]

10：待测物              12：下缘(靠近平面的侧边)

100：平整度检测装置     110：承载平台

112：平面               114：侧壁

120：发光模块           122：发光元件

130：光接收模块         132：检测单元

140：图像处理模块       150：比对模块

160：调光模块           A～F：检测方向

L：光线                 M：亮纹信号

S1：基准线              T：检测光

P1、P2、P3：像素位置    G、G1、G2、G 3：间隙高度

(X1,Y1)、(X2,Y2)、(X3,Y3)：坐标点

具体实施方式

本实施例的平整度检测装置及其检测方法，是将待测物放置于承载平台上，承载平台内具有发光模块朝待测物投射光线，光线会经由待测物与承载平台间的狭缝中透出，再由光接收模块接收而产生图像信号，图像信号经由图像处理模块处理后，可用以计算待测物的下缘(侧边)与承载平面之间的间隙高度，并以间隙高度与一标准值进行比对。若比对结果显示间隙高度大于标准值，则判定为不合格，若间隙高度小于标准值，则判定为合格，以作为平整度检测的依据。本实施例的检测装置采用非接触式测量，不会刮伤待测物，且为标准化自动检测流程并根据比对结果自动判断是否符合标准，故能提高精度(可达0.01毫米以下)、效率(检测时间小于1.5秒/片)及准确率，以节省人力及成本，还能避免人为因素而造成标准不一致的问题。

以下是提出各种实施例进行详细说明，实施例仅用以作为范例说明，并非用以限缩本发明欲保护的范围。