[发明专利]双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器以及探测方法

权利要求书

1.一种双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，其特征在于，包括：

微悬臂梁主体；

第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数；

加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内，用于加热所述悬臂梁主体以及所述第一应力凸块，所述加热器进一步设置至少两引脚，所述引脚用于同外界形成电学连接。

2.如权利要求1所述的双材料微悬臂梁，其特征在于，所述微悬臂梁的上表面进一步设置电磁辐射吸收层，所述衬底表面进一步设置电磁辐射反射层。

3.如权利要求1所述的双材料微悬臂梁，其特征在于，所述微悬臂梁与衬底之间进一步包括一阻挡凸块，所述阻挡凸块设置在微悬臂梁自由端的靠近衬底一侧的表面上。

4.如权利要求1所述的双材料微悬臂梁，其特征在于，所述微悬臂梁与衬底之间进一步包括一阻挡凸块，所述阻挡凸块设置在衬底靠近微悬臂梁自由端的一侧的表面上。

5.如权利要求1所述的双材料微悬臂梁，其特征在于，所述微悬臂梁表面进一步设置一第一电极，所述衬底表面进一步对应设置一第二电极层，所述第一和第二电极相互配合形成一检测电容，用以检测所述微悬臂梁的形变。

6.如权利要求1所述的双材料微悬臂梁，其特征在于，进一步包括一第二应力凸块，所述第二应力凸块设置于所述微悬臂梁主体靠近衬底一侧的表面上，且与第一应力凸块具有一距离，所述第二应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第二应力凸块设置于所述微悬臂梁主体远离衬底一侧的表面上，且与第一应力凸块具有一距离，所述第二应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数。

7.一种电磁辐射探测器，包括衬底，衬底表面的封盖，以及由衬底和封盖限制形成的一空腔，其特征在于：

所述空腔中包括多个权利要求1-6任意一项所述的微悬臂梁；

所述衬底中包括一加热控制电路，所述加热控制电路与所述加热器电学连接。

8.根据权利要求7所述的电磁辐射探测器，其特征在于，所述空腔中的多个微悬臂梁进一步以阵列形式排列。

9.一种采用如权利要求7或8所述的电磁辐射探测器探测电磁辐射的方法，其特征在于，包括如下步骤：

a）对所述微悬臂梁内的加热器施加加热电压或电流，使所有的微悬臂梁形变以脱离静态初始位置；

b）检测出微悬臂梁各自的形变大小；

c）根据检测结果调整每个微悬臂梁上施加的加热电压或电流，以使各个悬臂梁之间的形变一致。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述步骤a中对所有的微悬臂梁施加相同的加热电压或电流，所述步骤b进一步包括：

b1）检测出微悬臂梁在施加相同的加热电压或电流后各自的形变大小并记录；

b2）通过分析上述检测到的形变大小，计算得到不同微悬臂梁之间的非均匀性。