[发明专利]具有透射及反射光源的照明装置、检测系统及其检测方法有效
申请号: | 201210372406.3 | 申请日: | 2012-09-28 |
公开(公告)号: | CN102944563A | 公开(公告)日: | 2013-02-27 |
发明(设计)人: | 张梁;李波;樊思民;董玉静;温晔 | 申请(专利权)人: | 肇庆中导光电设备有限公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 林火城 |
地址: | 526238 广东省肇庆市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 透射 反射 光源 照明 装置 检测 系统 及其 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种光学检测系统及其检测方法,尤其涉及用于检测可透射的被测物体的前后表面的光学检测系统及其检测方法,以及应用于该光学检测系统的照明装置。
背景技术
通常,平板玻璃、触摸屏、导光板或液晶面板等透光性/半透光性产品在制造中需要通过光学检测系统对其进行质量检测从而判定产品工艺和制程是否合格,然后以此为依据对工艺和制程进行改善并对产品进行修复以提高产品良率。光学检测系统一般包括光源及CCD测试机,通过光源向被测物体发射光线,光线经被测物体反射到达CCD测试机中,通过CCD测试机对光学影像转换为数字信号并进行分析比较,从而判断该被测物体表面是否合格。如果需要检测被测物体的第二表面时,则需要将被测物体反置或者放置另一光学检测系统,另一光学检测系统发射的光线入射至被测物体的第二表面并透射或反射至CCD测试机中,通过CCD测试机分析判断该被测物体表面是否合格。然,该种通过两套光学检测系统来检测被测物体前、后表面或者通过反置被测物体的方法,影响了被测物体表面质量检测的效率,并且,通过两套光学检测系统增加了检测成本,通过反置的方法由于定位或者摆放易对测物体表面造成影响。
发明内容
鉴于以上所述,本发明有必要提供一种检测效率高、成本低且在检测中不易损坏被测物体的光学检测系统。
此外,还有必要提供一种检测方法。
此外,还有必要提供一种照明装置。
一种光学检测系统,用于检测被测物体,光学检测系统包括反射光源、半反半透镜、成像单元以及透射光源;所述反射光源与透射光源设置在被测物体的相对的两侧,所述半反半透镜设置在反射光源与被测物体之间,所述反射光源发出光线穿过半反半透镜照射至被测物体表面后反射至半反半透镜,所述透射光源发出光线透过被测物体并照射至半反半透镜,所述半反半透镜将所述反射光源发出光线和/或所述透射光源发出的光线反射至成像单元。
其中,所述半反半透镜具有入光面和出光面,该入光面朝向反射光源,反射光源与被测物体的连线与入光面呈45度夹角。
其中,所述光学检测系统还包括全反射镜,全反射镜设置在半反半透镜的一侧,用以接收从半反半透镜反射的光线并反射至成像单元,所述全反射镜具有反射面,全反射镜的反射面朝向半反半透镜的出光面且与该出光面平行。
其中,所述光学检测系统还包括运载平台,所述运载平台开设有孔,被测物体设置在运载平台上,检测时透射光源光线经过孔照射到被测物体上。
其中,所述透射光源为光源模组,该光源模组包括散热片、光源基板、光源以及扩散板,所述光源基板设置在散热片上,所述光源设置在光源基板上,所述光源发出的光线透过扩散板射向被测物体。
其中,所述扩散板一表面或者相对的二表面为粗糙面。
其中,所述扩散板一表面为圆柱面或椭圆柱面。
其中,所述光源模组还包括机械挡片,机械挡片设置在扩散板上方,机械挡片外侧面为粗糙面,内侧面为粗糙面或镜面。
其中,所述机械挡片为一挡罩,挡罩呈喇叭状设在扩散板上,所述挡罩较大口径的一端与扩散板接触,相对的一端形成为口径尺寸较小的开口。
一种光学检测系统,用于检测被测物体,光学检测系统包括反射光源、半反半透镜以及透射光源;反射光源设置在被测物体的一侧,半反半透镜设置在反射光源与被测物体之间,透射光源设置在被测物体的另一侧,反射光源发出光线穿过半反半透镜照射至被测物体表面后反射至半反半透镜,透射光源发出光线透过被测物体并照射至半反半透镜,所述透射光源为光源模组,该光源模组包括光源、扩散板以及机械挡片,机械挡片设置在扩散板上并形成出光孔,光源设置在所述扩散板下方,使得光源发出的光线经过扩散板后经过机械挡片内表面的反射而从出光孔汇聚散出照射至待测物体,所述反射光源位于机械挡片的上方,使得反射光源发出的光线经过外表面的反射而减少进入出光孔的光线。
一种光学检测系统的检测方法,光学检测系统包括反射光源、半反半透镜、全反射镜、成像单元以及透射光源;
仅检查被测物体的第一表面时,开启反射光源,关闭透射光源,反射光源发出光线至半反半透镜,从半反半透镜透射的光线照射至被测物体的第一表面后经被测物体反射至半反半透镜,半反半透镜将被测物体反射的光线反射至全反射镜,全反射镜将光线反射至成像单元,以检测被测物体的第一表面;
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